MEMS在各行各業(yè)都有一定的發(fā)展和應用，比如我們所了解的MEMS傳感器。為增進大家對MEMS的了解，本文將基于兩點介紹MEMS：1.MEMS技術在戰(zhàn)術武器方面的應用，2.中國MEMS技術未來發(fā)展。如果你對MEMS具有興趣，不妨繼續(xù)和小編一起往下閱讀哦。

一、MEMS在戰(zhàn)術武器應注意的要點

隨著MEMS陀螺儀在戰(zhàn)術武器中的應用，研制過程中暴露出許多問題。為提高戰(zhàn)術導彈的研制質(zhì)量，向部隊提供性能先進、質(zhì)量優(yōu)良的武器裝備，MEMS陀螺儀需要解決微機械加工工藝這一關鍵性技術問題。

MEMS陀螺儀對微機械加工工藝具有高度的敏感性，加工工藝偏差、加工應力以及可靠性等對MEMS陀螺儀的成品率至關重要。整個微機械加工工藝流程是實現(xiàn)MEMS陀螺儀長期穩(wěn)定工作的基礎，因此必須加強微機械加工工藝過程的控制。

1. 加工精度控制

MEMS陀螺儀微敏感結(jié)構(gòu)的加工精度主要體現(xiàn)在梳齒、彈性梁等關鍵結(jié)構(gòu)的加工誤差控制，這直接影響了MEMS陀螺儀敏感結(jié)構(gòu)的對稱性、諧振頻率、相位以及振動穩(wěn)定性等結(jié)構(gòu)特性。

2. 工藝參數(shù)在線控制

根據(jù)產(chǎn)品過程質(zhì)量控制的要求，需要對整個微機械加工工藝流程進行在線控制。在MEMS陀螺儀微機械加工工藝復雜流程中，應識別出產(chǎn)品的關鍵工藝參數(shù)，建立一整套在線測試與質(zhì)量評估方法，提高微機械加工工藝一致性和成品率，如光刻對準精度的在線監(jiān)測、鍵合強度的在線監(jiān)測、采用掃頻技術測量敏感結(jié)構(gòu)振動幅度與頻率的關系以及裝配過程的應力測試等。

3. 環(huán)境適應性篩選

環(huán)境適應性篩選是為了早期剔除有故障的器件，MEMS陀螺儀敏感結(jié)構(gòu)失效模式包括殘余應力、結(jié)構(gòu)斷裂和疲勞等。

殘余應力的存在會降低微結(jié)構(gòu)的使用壽命，尤其在頻繁振動和沖擊的情況下會對微結(jié)構(gòu)造成致命的傷害。結(jié)構(gòu)斷裂主要發(fā)生在梳齒或微懸臂梁處，會使器件輸出非線性，同時產(chǎn)生的微粒還可能在器件內(nèi)部形成短路。疲勞是指在低于材料彎曲或破裂強度的周期應力作用下導致器件失效，通常發(fā)生在硅微結(jié)構(gòu)應力集中的部位。機械疲勞應力經(jīng)過不斷累積，導致可動部件的斷裂，器件的壽命縮短，最終引發(fā)失效。

二、中國MEMS技術未來發(fā)展

MEMS 具有體積小、重量輕、功耗低、耐用性好、價格低廉、性能穩(wěn)定等優(yōu)點，MEMS 系統(tǒng)的獨特特性使之在很多領域具有應用潛力，盡管已經(jīng)有不少應用，但整體來說MEMS市場仍處于起步階段，大量的MEMS系統(tǒng)仍具備廣闊的市場潛力。全球來看，MEMS 當前市場規(guī)模約為120 億美元，有望在2020年達到近200億美元，年復合增速達到11.6%，遠超傳統(tǒng)半導體行業(yè)個位數(shù)的增速。其中組合慣性傳感器、微顯示等將呈現(xiàn)高速成長。整體而言，MEMS 傳感器有更廣泛的應用領域和產(chǎn)品，在整個MEMS 市場所占份額超過70%。隨著MEMS 執(zhí)行器生產(chǎn)技術的成熟和應用場景的增加，未來也會實現(xiàn)快速增長。

由于近年來硬件創(chuàng)新市場逐漸轉(zhuǎn)移國內(nèi)，中國市場對于MEMS傳感器的需求增速遠高于全球 MEMS 市場增速，約13.9%，到2020 年總市場規(guī)模近60億美元。

MEMS當前主要應用在消費電子、汽車等領域，隨著產(chǎn)品的不斷成熟，航空航天、醫(yī)學和工業(yè)的應用也逐漸普及。

自2015 年至2020 年汽車、工業(yè)、醫(yī)療的CAGR 分別4.3%、7.7%、11.8%。中國的MEMS 行業(yè)按下游應用來看，汽車和消費電子同樣是主要的增長動力，2010 年至 2015年汽車和消費電子領域的CAGR 分別為12.4%和 10.6%。未來，由于中國消費電子和汽車的產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化進程快速，仍將保持高速增長，消費電子的年復合增速預測將達到 17.2%，汽車增速為10.3%。

以上便是此次小編帶來的“MEMS”相關內(nèi)容，通過本文，希望大家對MEMS技術在戰(zhàn)術武器方面的應用已經(jīng)MEMS技術在我國未來的發(fā)展趨勢具備一定的了解。如果你喜歡本文，不妨持續(xù)關注我們網(wǎng)站哦，小編將于后期帶來更多精彩內(nèi)容。最后，十分感謝大家的閱讀，have a nice day!