fab廠內(nèi)工程師職位和負(fù)責(zé)內(nèi)容你了解多少
[導(dǎo)讀]fab的職位可以包含幾乎所有的工科理科及部分文科專業(yè)。PE制程工程師，EE設(shè)備工程師，PIE制程整合工程師，YE良率工程師，RE可靠性工程師，PDE產(chǎn)品工程師，TE測(cè)試工程師，QE質(zhì)量工程師，CE客戶工程師，EHS環(huán)境衛(wèi)生安全工程師，Deviceengineer器件工程師等等很多...
fab的職位可以包含幾乎所有的工科理科及部分文科專業(yè)。PE制程工程師，EE設(shè)備工程師，PIE制程整合工程師，YE良率工程師，RE可靠性工程師，PDE產(chǎn)品工程師，TE測(cè)試工程師，QE質(zhì)量工程師，CE客戶工程師，EHS環(huán)境衛(wèi)生安全工程師，Device engineer器件工程師等等很多種類的職位，以上僅僅舉出最基本的一些職位。EE就是設(shè)備工程師，一個(gè)fab是生產(chǎn)芯片的，那必然有廠房，半導(dǎo)體生產(chǎn)廠房叫做超凈間，是恒溫恒濕并且空氣潔凈度達(dá)到半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的環(huán)境。所有用于生產(chǎn)芯片的設(shè)備都是放在這些超凈間里的。現(xiàn)在半導(dǎo)體在一片晶圓上所做的圖形尺寸都是微米甚至納米級(jí)別的，那就必須要求超凈間的環(huán)境，同樣用于生產(chǎn)芯片的設(shè)備也必須要達(dá)到同樣的潔凈度。EE的主要工作職責(zé)就是保證生產(chǎn)設(shè)備的正常運(yùn)轉(zhuǎn)，所謂正常運(yùn)轉(zhuǎn)，就是保證設(shè)備的硬件都是正常工作的，比如對(duì)于cvd機(jī)臺(tái)，首先particle要keep BSL水平，當(dāng)然越少越好，你要保證gas流量穩(wěn)定，你要保證power輸出穩(wěn)定，你要保證pump正常工作，你要保證robot可以完成正常傳輸，當(dāng)然對(duì)于任何一臺(tái)設(shè)備而言，在設(shè)備端會(huì)有成千上萬(wàn)個(gè)參數(shù)來(lái)表征這臺(tái)設(shè)備是否運(yùn)轉(zhuǎn)正常，EE工程師要做的就是保證這些參數(shù)沒(méi)有出現(xiàn)異常，并且在出現(xiàn)異常的時(shí)候找出rootcause并提供solution，EE最主要的工作職責(zé)就是保證機(jī)臺(tái)stable run，當(dāng)然EE還有另外一部分重要職責(zé)，就是機(jī)臺(tái)保養(yǎng)維護(hù)，就像騎車一樣，開(kāi)了多少公里后需要做保養(yǎng)，對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備來(lái)說(shuō)，更需要定期做保養(yǎng)維護(hù)更換parts，更換酸溶液，更換slurry，更換cmp pad，purge pump line/gas line 等等，每臺(tái)設(shè)備保養(yǎng)維護(hù)都有sop(標(biāo)準(zhǔn)操作手冊(cè))，完全follow就可以了，絕對(duì)不可以為了省事而自做主張。所有的這一切都是保證機(jī)臺(tái)長(zhǎng)期穩(wěn)定的運(yùn)行，做好了這一點(diǎn)，基本上EE的工作就完成了。關(guān)于設(shè)備
半導(dǎo)體生產(chǎn)中主要涉及以下幾種主工藝dep，etch，wet，photo，thermal，cmp，幾種線上量測(cè)步驟cd，ocd，thk，defect，wat等等。針對(duì)以上幾種主工藝而言，設(shè)備供應(yīng)商分為國(guó)內(nèi)和國(guó)外兩種，國(guó)際主流的一些設(shè)備供應(yīng)商包括但不僅限于如下:asml，amat，tel，lam，dns，asm，mattson等等，國(guó)內(nèi)設(shè)備供應(yīng)商包括但不僅限于如下:北方華創(chuàng)，中國(guó)微電子，上海微電子，沈陽(yáng)拓荊等等，至于量測(cè)機(jī)臺(tái)，也同樣分為國(guó)內(nèi)和國(guó)外兩種，國(guó)外主要有amat，kla，nova，nano，hmi等等，國(guó)內(nèi)的話比較少，睿勵(lì)算是一家，其他就不太了解了。綜合來(lái)看，設(shè)備供應(yīng)商，或者說(shuō)頂級(jí)設(shè)備供應(yīng)商還是以國(guó)外供應(yīng)商為主，但國(guó)產(chǎn)設(shè)備也是在逐步努力追趕，中微刻蝕機(jī)臺(tái)進(jìn)入臺(tái)積電5nm供應(yīng)鏈，通過(guò)臺(tái)積電驗(yàn)證，這就是令人振奮的消息。對(duì)于個(gè)人發(fā)展而言，在fab做EE是個(gè)相對(duì)來(lái)說(shuō)比較枯燥的職位，因?yàn)楣ぷ鲀?nèi)容比較重復(fù)，尤其在做了同一種設(shè)備幾年之后，這臺(tái)設(shè)備會(huì)出的問(wèn)題issue你都會(huì)碰到過(guò)了，也知道怎么解了，也許有的工程師就會(huì)覺(jué)得枯燥了，當(dāng)然，這是一個(gè)仁者見(jiàn)仁智者見(jiàn)智得事情。對(duì)一個(gè)fab而言，EE是保證fab基本可以運(yùn)營(yíng)的第一道關(guān)卡，就如一個(gè)食堂一樣，燃?xì)庠铄佂咂芭栌布O(shè)備已經(jīng)reday，那下一步就看廚師了，fab廠里PE制程工程師就相當(dāng)于廚師了。PE叫做工藝工程師，那主要的工作職責(zé)就是tune好process，說(shuō)起來(lái)簡(jiǎn)單，實(shí)際是個(gè)很復(fù)雜的工作。fab中傳統(tǒng)的工藝有cvd，pvd，photo，etch，wet，cmp，imp，diff，thermal，隨著關(guān)鍵尺寸的縮小，又出現(xiàn)了strain engineering即EPI 的process，目前幾乎全部的fab都會(huì)包含這些process部門(mén)。要想tune好process，需要專業(yè)的理論知識(shí) ，清晰的邏輯分析能力，嚴(yán)謹(jǐn)?shù)臄?shù)據(jù)論證。以etch process為例，在develop一只recipe的時(shí)候，首先要知道這只recipe的目的，是etch什么材料，是etch介質(zhì) or Si or metal，是etch什么形狀，是etch via or trench or line，需要etch出的圖形需要滿足哪些條件，比如depth，cd，space，angle等等，這是最基本的sense，根據(jù)這些需求首先要選定etch機(jī)臺(tái)，因?yàn)椴煌膃tch機(jī)臺(tái)有不同的hardware，不同的hardware是針對(duì)不同的etch需求而設(shè)計(jì)的，比如你需要etch metal，那就不能選用于etch 介質(zhì)或者Si的etch機(jī)臺(tái)，反之依然。機(jī)臺(tái)選定之后，那就開(kāi)始tune recipe了，一般etch recipe所能調(diào)動(dòng)的參數(shù)包含power，gas，pressure，temperature，time等等，雖然看似只有這幾個(gè)參數(shù)可動(dòng)，但其實(shí)真的非常復(fù)雜，就拿gas來(lái)講，etch介質(zhì)的反應(yīng)gas也就幾種，比如c3f6，cf4，c4f8等等(非etch出身，如有錯(cuò)誤歡迎指正)，但這些gas的配比，流量稍微變動(dòng)一下，最后etch出的圖形就可能發(fā)生很大的變化，包括etch rate，etch uniformity，甚至etch之后的圖形缺陷(defect)等等都可能發(fā)生很大的變化。所以要成為一位合格的PE工藝工程師，就要對(duì)這些每一個(gè)參數(shù)的變化可能對(duì)最終的etch結(jié)果造成怎么樣的影響有基于理論方面的理解，首先要有一個(gè)定性的理解，就是理論上機(jī)理上能講得通，然后再基于這些理論去設(shè)計(jì)一些DOE實(shí)驗(yàn)來(lái)驗(yàn)證自己的理論，通過(guò)收集這些DOE的結(jié)果來(lái)證明自己的結(jié)論。那么如何才算是一只合格的recipe呢？首先要滿足data within spec，包括但不限于cd，thk，etch rate，uniformity，defect，profile等等，其次還要保證recipe的robust，也就是在其他process有一定variation的時(shí)候，相應(yīng)的etch process還能繼續(xù)run出within spec的結(jié)果，至于這個(gè)variation有多大的時(shí)候etch還能cover，需要相關(guān)的PE及PIE一起去定義，基本原則是各個(gè)PE都要保證自己的process都要有一定的process window(當(dāng)然需要越大越好，但實(shí)際情況是不可能的)，這個(gè)window是為了cover一些正常的工藝variation，不能說(shuō)cmp之后的thk variation很大，cmp的pe說(shuō)可以依靠后續(xù)litho來(lái)幫我cover掉這個(gè)variation，這個(gè)非正常的variation需要相應(yīng)的PE去finetune recipe。PIE，Process Integration Engineer,也有叫PEI，顛倒一下后面兩個(gè)單詞而已，中文：工藝整合工程師或者制程整合工程師。PIE是一個(gè)fab的靈魂人物，因?yàn)橐粋€(gè)合格的PIE對(duì)生產(chǎn)線每個(gè)環(huán)節(jié)都懂，他不一定懂得怎么解決一個(gè)突發(fā)的棘手事件，但是知道與誰(shuí)合作可以解決問(wèn)題。因此，線上小姐和PE遇到無(wú)法解決的問(wèn)題，第一個(gè)想到的就是PIE。所以PIE不僅技術(shù)上要過(guò)關(guān)，還要會(huì)做人，我聽(tīng)到我的一個(gè)前輩說(shuō)，PIE就是靠嘴，不無(wú)道理。fab不需要優(yōu)秀的天才，就算是天才，到了fab也會(huì)埋沒(méi)，也不需要富有激情的雇員，要激情干什么，把貨run好，貨不出問(wèn)題，跑的快，才是王道。所以，仔細(xì)，耐心，踏實(shí)是PIE最喜歡的性格特點(diǎn)。END加OFweek電子工程交流群，客服微信：hjw20140314投稿爆料，采訪需求請(qǐng)發(fā)送郵箱：luoxiangyang@ofweek.com
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半導(dǎo)體生產(chǎn)中主要涉及以下幾種主工藝dep，etch，wet，photo，thermal，cmp，幾種線上量測(cè)步驟cd，ocd，thk，defect，wat等等。針對(duì)以上幾種主工藝而言，設(shè)備供應(yīng)商分為國(guó)內(nèi)和國(guó)外兩種，國(guó)際主流的一些設(shè)備供應(yīng)商包括但不僅限于如下:asml，amat，tel，lam，dns，asm，mattson等等，國(guó)內(nèi)設(shè)備供應(yīng)商包括但不僅限于如下:北方華創(chuàng)，中國(guó)微電子，上海微電子，沈陽(yáng)拓荊等等，至于量測(cè)機(jī)臺(tái)，也同樣分為國(guó)內(nèi)和國(guó)外兩種，國(guó)外主要有amat，kla，nova，nano，hmi等等，國(guó)內(nèi)的話比較少，睿勵(lì)算是一家，其他就不太了解了。綜合來(lái)看，設(shè)備供應(yīng)商，或者說(shuō)頂級(jí)設(shè)備供應(yīng)商還是以國(guó)外供應(yīng)商為主，但國(guó)產(chǎn)設(shè)備也是在逐步努力追趕，中微刻蝕機(jī)臺(tái)進(jìn)入臺(tái)積電5nm供應(yīng)鏈，通過(guò)臺(tái)積電驗(yàn)證，這就是令人振奮的消息。對(duì)于個(gè)人發(fā)展而言，在fab做EE是個(gè)相對(duì)來(lái)說(shuō)比較枯燥的職位，因?yàn)楣ぷ鲀?nèi)容比較重復(fù)，尤其在做了同一種設(shè)備幾年之后，這臺(tái)設(shè)備會(huì)出的問(wèn)題issue你都會(huì)碰到過(guò)了，也知道怎么解了，也許有的工程師就會(huì)覺(jué)得枯燥了，當(dāng)然，這是一個(gè)仁者見(jiàn)仁智者見(jiàn)智得事情。對(duì)一個(gè)fab而言，EE是保證fab基本可以運(yùn)營(yíng)的第一道關(guān)卡，就如一個(gè)食堂一樣，燃?xì)庠铄佂咂芭栌布O(shè)備已經(jīng)reday，那下一步就看廚師了，fab廠里PE制程工程師就相當(dāng)于廚師了。PE叫做工藝工程師，那主要的工作職責(zé)就是tune好process，說(shuō)起來(lái)簡(jiǎn)單，實(shí)際是個(gè)很復(fù)雜的工作。fab中傳統(tǒng)的工藝有cvd，pvd，photo，etch，wet，cmp，imp，diff，thermal，隨著關(guān)鍵尺寸的縮小，又出現(xiàn)了strain engineering即EPI 的process，目前幾乎全部的fab都會(huì)包含這些process部門(mén)。要想tune好process，需要專業(yè)的理論知識(shí) ，清晰的邏輯分析能力，嚴(yán)謹(jǐn)?shù)臄?shù)據(jù)論證。以etch process為例，在develop一只recipe的時(shí)候，首先要知道這只recipe的目的，是etch什么材料，是etch介質(zhì) or Si or metal，是etch什么形狀，是etch via or trench or line，需要etch出的圖形需要滿足哪些條件，比如depth，cd，space，angle等等，這是最基本的sense，根據(jù)這些需求首先要選定etch機(jī)臺(tái)，因?yàn)椴煌膃tch機(jī)臺(tái)有不同的hardware，不同的hardware是針對(duì)不同的etch需求而設(shè)計(jì)的，比如你需要etch metal，那就不能選用于etch 介質(zhì)或者Si的etch機(jī)臺(tái)，反之依然。機(jī)臺(tái)選定之后，那就開(kāi)始tune recipe了，一般etch recipe所能調(diào)動(dòng)的參數(shù)包含power，gas，pressure，temperature，time等等，雖然看似只有這幾個(gè)參數(shù)可動(dòng)，但其實(shí)真的非常復(fù)雜，就拿gas來(lái)講，etch介質(zhì)的反應(yīng)gas也就幾種，比如c3f6，cf4，c4f8等等(非etch出身，如有錯(cuò)誤歡迎指正)，但這些gas的配比，流量稍微變動(dòng)一下，最后etch出的圖形就可能發(fā)生很大的變化，包括etch rate，etch uniformity，甚至etch之后的圖形缺陷(defect)等等都可能發(fā)生很大的變化。所以要成為一位合格的PE工藝工程師，就要對(duì)這些每一個(gè)參數(shù)的變化可能對(duì)最終的etch結(jié)果造成怎么樣的影響有基于理論方面的理解，首先要有一個(gè)定性的理解，就是理論上機(jī)理上能講得通，然后再基于這些理論去設(shè)計(jì)一些DOE實(shí)驗(yàn)來(lái)驗(yàn)證自己的理論，通過(guò)收集這些DOE的結(jié)果來(lái)證明自己的結(jié)論。那么如何才算是一只合格的recipe呢？首先要滿足data within spec，包括但不限于cd，thk，etch rate，uniformity，defect，profile等等，其次還要保證recipe的robust，也就是在其他process有一定variation的時(shí)候，相應(yīng)的etch process還能繼續(xù)run出within spec的結(jié)果，至于這個(gè)variation有多大的時(shí)候etch還能cover，需要相關(guān)的PE及PIE一起去定義，基本原則是各個(gè)PE都要保證自己的process都要有一定的process window(當(dāng)然需要越大越好，但實(shí)際情況是不可能的)，這個(gè)window是為了cover一些正常的工藝variation，不能說(shuō)cmp之后的thk variation很大，cmp的pe說(shuō)可以依靠后續(xù)litho來(lái)幫我cover掉這個(gè)variation，這個(gè)非正常的variation需要相應(yīng)的PE去finetune recipe。PIE，Process Integration Engineer,也有叫PEI，顛倒一下后面兩個(gè)單詞而已，中文：工藝整合工程師或者制程整合工程師。PIE是一個(gè)fab的靈魂人物，因?yàn)橐粋€(gè)合格的PIE對(duì)生產(chǎn)線每個(gè)環(huán)節(jié)都懂，他不一定懂得怎么解決一個(gè)突發(fā)的棘手事件，但是知道與誰(shuí)合作可以解決問(wèn)題。因此，線上小姐和PE遇到無(wú)法解決的問(wèn)題，第一個(gè)想到的就是PIE。所以PIE不僅技術(shù)上要過(guò)關(guān)，還要會(huì)做人，我聽(tīng)到我的一個(gè)前輩說(shuō)，PIE就是靠嘴，不無(wú)道理。fab不需要優(yōu)秀的天才，就算是天才，到了fab也會(huì)埋沒(méi)，也不需要富有激情的雇員，要激情干什么，把貨run好，貨不出問(wèn)題，跑的快，才是王道。所以，仔細(xì)，耐心，踏實(shí)是PIE最喜歡的性格特點(diǎn)。END加OFweek電子工程交流群，客服微信：hjw20140314投稿爆料，采訪需求請(qǐng)發(fā)送郵箱：luoxiangyang@ofweek.com
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