你想過未來手機屏幕如紙一樣輕薄，還可以卷曲起來嗎？這個想法已經在生活中現(xiàn)實了。

可卷曲如紙一樣輕薄的各類終端屏幕主要選材是OLED（有機發(fā)光二極管），OLED生產過程最重要的一環(huán)就是“蒸”，工藝難度極高。

真空蒸鍍機就是制作OLED的核心設備，它被日本 Canon Tokki 公司壟斷，真空蒸鍍機的年產量預測在幾臺到十幾臺之間。（目前我國還沒有生產蒸鍍機的企業(yè)）

▲OLED面板蒸鍍設備

OLED的生產難度非常之大，其核心技術在于上游的精密制造，而精密制造需要精密制造的設備，但是這些設備的產能卻是有限的。OLED最核心的蒸鍍設備控制在佳能旗下的蒸鍍機廠商Tokki手里，因此三星提前用訂單鎖定了Tokki的產能實行壟斷生產。

日本 Canon Tokki 公司僅有300多名員工，卻基本壟斷了全球真空蒸鍍機的供應，每臺報價過億美元，仍然一機難求，排隊等貨成為常態(tài)。

全球生產蒸鍍設備廠商不止一家，但是 Canon Tokki 真空蒸鍍機量產穩(wěn)定，技術成熟的優(yōu)勢無人可比。單從技術上講，Canon Tokki的確處于OLED面板產業(yè)鏈的頂層。

蒸鍍是OLED制造工藝的關鍵，直接影響著OLED屏幕顯示，蒸鍍機的工作就是把OLED有機發(fā)光材料精準、均勻、可控地蒸鍍到基板上。

OLED顯示面板中大量應用的有機材料極易受到氧氣和水的影響，有機材料間也很容易造成污染，因此，面板的蒸鍍一般都是在真空環(huán)境下且相互獨立進行。

通過電流加熱，電子束轟擊加熱和激光加熱等方法，使被蒸材料蒸發(fā)成原子或分子，它們即以較大的自由程作直線運動，碰撞基片表面而凝結，形成薄膜，這個過程就是真空蒸鍍。

通俗地說，OLED屏幕每個像素都是蒸上去的，除了發(fā)光材料，金屬電極等也是這樣蒸上去的，實際操作非常復雜。

上圖是PMOLED的典型工藝流程，PMOLED也屬于OLED，但結構比AMOLED簡單，沒有TFT。

Canon Tokki 蒸鍍機能把有機發(fā)光材料蒸鍍到基板上的誤差控制在5微米內，這是什么概念？1微米相當于頭發(fā)直徑的1％，這精度再沒有公司能做到了。

潛心于一個領域20余年，讓Canon Tokki 擁有不少專利，比如，它很早就將機器視覺應用在設備上。生產環(huán)節(jié)中，對準玻璃基板和用作像素模板的細金屬網難度很大，利用攝像頭追蹤，Canon Tokki 可將誤差范圍縮小到人體紅細胞大小。

▲全球知名OLED蒸鍍設備企業(yè)

想要生產OLED面板，Canon Tokki 的真空蒸鍍機無異于一張入場券。為了從三星口中搶奪蘋果iPhone的OLED屏幕訂單，LG近期斥資逾兩億美金終于從訂單大量堆積的Canon TOKKI“搶”到兩臺蒸鍍機，預計于今年底和明年初各交付一臺，將能夠給LG帶來每月3萬片第六代OLED面板的產能。

除Canon TLKKI之外，還有大量日本企業(yè)在OLED生產鏈條中扮演著舉足輕重的角色，比如OLED生產必須的蒸發(fā)掩膜大多由Dai日本印刷公司生產，日本電氣玻璃公司制造的玻璃基板，日本出光興產的OLED發(fā)光材料等。

據說京東方6代柔性OLED生產線能夠提前量產的重要前提就是，拿到了Canon Tokki的真空蒸鍍機。

中國平板顯示全球第一，但大而不強。我國OLED企業(yè)主要聚集在產業(yè)鏈中下游的面板和手機等顯示終端產品應用領域，上游核心生產設備完全依靠進口。

真空蒸鍍機等核心設備的缺失，反映出我國基礎研究、精密加工、自動化控制等多領域的短板。國內OLED大型生產線裝備雖仍一片空白，但OLED科研型蒸鍍設備已達國際水平，中試型生產裝備已成功研發(fā)。雖然距離擺脫‘真空’有點遠，但好歹上路了。

不過，中國這塊確實得加油了，不然再出現(xiàn)什么技術限制等，依舊會讓很多企業(yè)，甚至整個行業(yè)陷入難堪的地步。

來源：瘋狂機械控