盛美半導體設備(上海)有限公司首席執(zhí)行官王暉博士介紹說,這臺設備作為量產設備,裝備了8個獨立的清洗腔,并運用全球獨有的、具有自主知識產權的SAPS兆聲波(空間交變相移技術),最大產出率可達到每小時 400片,為45納米和32納米節(jié)點硅片清洗提供了高效、零損傷的顆粒及污染去除方案。
當今半導體清洗技術中的最大難題是對機械損傷和去除效率的控制。隨著半導體芯片體積的不斷縮小,影響硅片良率的粒子也越來越小,顆粒越小則越難清洗;同時,45納米以下芯片的門電極與電容結構越來越脆弱,在清洗中避免損傷芯片微結構的難度也在不斷加大。
兆聲波技術能夠通過氣穴振蕩來推動微顆粒離開硅片表面,但技術難點在于如何控制兆聲波在硅片表面的能量。王暉博士介紹說,由盛美半導體自主研發(fā)的SAPS兆聲波技術,利用空間交變相移原理可以對兆聲波的能量進行精確控制,將12英寸硅片面內兆聲波非均勻度控制在2%以內,一舉解決了困擾業(yè)界多年的棘手問題。
舊金山, Oct. 20, 2022 (GLOBE NEWSWIRE) -- 總部坐落在舊金山的科技公司Swift Navigation力圖重新定義面向汽車高級輔助駕駛系統(ADAS)和自動駕駛、工業(yè)機器控制、商用交通,...
關鍵字: NAVIGATION SWIFT 控制 API根據害蟲控制公司Orkin最新發(fā)布的“美國鼠患最嚴重的城市”年度調查,芝加哥連續(xù)第八年排在第一。報告統計時間從2021年9月1日至2022年8月31日,包括住宅樓和商業(yè)地產。紐約上升至第二,洛杉磯第三。每年秋季,老鼠和其...
關鍵字: 控制上海2022年10月11日 /美通社/ -- 10月10日,和睦家醫(yī)療宣布與泰利福達成戰(zhàn)略合作,簽約儀式于上海和睦家醫(yī)院圓滿舉辦,并在線上與多位泌尿外科領域翹楚同步連線召開"微創(chuàng)經尿道前列腺懸擴術(PUL)&q...
關鍵字: 創(chuàng)始人 CE 微型 控制