按Yole Developpement報道,全球MEMS工業(yè)正面臨之前從未有過的停滯,2008年的銷售額下降2%,達68億美元,其2009年非?？赡茉鲩L率小于1%。然而當汽車電子,工業(yè)壓力傳感器及打印頭市場隨著全球經(jīng)濟下滑時,許多新的MEMS應(yīng)用卻得到切實的增長。

　　MEMS在消費類電子產(chǎn)品中,如加速度計,陀螺儀的市場繼續(xù)看好,推動供應(yīng)商如STMicron(日內(nèi)瓦),Invensense(加州桑尼威爾),其銷售額有10-30%增長。隨著MEMS在醫(yī)療電子和診斷設(shè)備的應(yīng)用擴大,其市場繼續(xù)增大。今年新的內(nèi)窺測量產(chǎn)品(IMU)開始啟動。它集成了多軸加速度計和陀螺儀功能,不但尺寸小,而且價格不到10美元,所以也推動了游戲機,照相機防震及指示儀等新的應(yīng)用。

　　由于MEMS產(chǎn)品分散性大,與IC工業(yè)顯著下滑相比,MEMS工業(yè)仍是繼續(xù)健康的成長。Yole CEO說由于MEMS產(chǎn)品存在眾多的市場機會,相對全球MEMS市場看好。在全球MEMS市場達到68億美元情況下,僅只有14家領(lǐng)先公司的銷售額超過1,5億美元,以及30家公司的銷售額大于2800萬美元。下圖為MEMS市場的預(yù)測：

　　全球MEMS設(shè)備市場的情況就不一樣,2008年銷售額僅2億美元,相比與2007年的3,3億美元。盡管全球的經(jīng)濟狀況仍很難確定,但是2009年MEMS設(shè)備市場按最好情況估計,也只能達到與2008年時水平相近。

　　MEMS設(shè)備的研發(fā)相對仍是健康。而部分專業(yè)的MEMS設(shè)備制造商由于為完成今年訂單而擴大產(chǎn)能。其中硅片鍵合設(shè)備和用于芯片堆疊封裝,TSV,圖象傳感器和納米印刷等其中的付蝕設(shè)備正從半導(dǎo)體應(yīng)用轉(zhuǎn)向MEMS,并逐漸成為主流。

    MEMS有一種在手機中的應(yīng)用正吸引眾多人的眼球,叫WiSpry可調(diào)諧式數(shù)字電容器。它的優(yōu)點可以減少載波電平的功耗和手機成本。該公司在今年四月又得到1000萬美元的資助資金,目前其產(chǎn)品正在某一手機制造商中進行驗證測試,并預(yù)計今年底可以量產(chǎn)。據(jù)Jeffery Hilbert總裁的看法,全球其余的5家頂級手機制造商都有興趣導(dǎo)入此項技術(shù),并正在進行相關(guān)設(shè)計及樣品的試制階段,另有兩家在評估之中。

　　該公司提出一種平行板電容器新結(jié)構(gòu),其中一塊板是由180納米CMOS工藝制成的,而將MEMS置于CMOS的上面,并且是可移動的,采用8英寸硅片工藝及硅片級封裝技術(shù)。然而將芯片與嵌入式被動元件一起封裝在另一個封裝殼內(nèi)。利用這些電容器的開或關(guān)把它們排列在一組陣列中可以實現(xiàn)各種方式的聯(lián)通,包括如天線,放大器及瀘波器等。其中首位的應(yīng)用是可調(diào)諧式天線,它利用增加或減少阻抗來調(diào)正手機的功率,從而實現(xiàn)手機的功耗降低。下一步計劃是采用同樣結(jié)構(gòu)用在更低頻率及更小的天線之中。

　　Hilbert談到未來的軟件可調(diào)式陣列可能應(yīng)用于許多不同產(chǎn)品中。因為手機制造商要滿足不同國家的各種不同的客戶指定需求產(chǎn)品,采用上述結(jié)構(gòu)可以節(jié)省材料費用以及加快產(chǎn)品推向市場。功耗降低可以轉(zhuǎn)換成載波電平的網(wǎng)絡(luò)效率,能使用戶提高遠離基站的使用能力及延長手機電池的使用壽命。

　　另外,MEMS在生化醫(yī)療的應(yīng)用中也得到實際的增長,如美國Proteus Biomedical公司(在加州紅杉城)正把它的系統(tǒng)應(yīng)用于臨床醫(yī)療中,它利用傳感器和智能控制技術(shù)來進行肺結(jié)核和心臟病的治療,實現(xiàn)心臟的剌激與疏通。其下一步更大計劃是在現(xiàn)有的醫(yī)療技術(shù)中作植入式應(yīng)用。

　　有項革命性的應(yīng)用是植入式電極(implanted electrodes),它能剌激心臟內(nèi)不同腔體位置使它們進行同步或再同步心跳的治療。公司的核心技術(shù)在于釆用芯片級封裝技術(shù),將尺寸小于毫米的MEMS傳感器和處理器封裝系統(tǒng)放在人體的內(nèi)部使用,而且可以維持好多年,來代替必須更多的插入導(dǎo)管來剌激心臟的不同位置。Proteus技術(shù)能在一根導(dǎo)管的兩條線上裝有16個電極,利用起博器電源能使傳感器在心臟的不同腔體內(nèi)移動,并剌激產(chǎn)生合適的收縮壓力,最終能將訊息智能化傳出來。這項革命性的創(chuàng)新,把過去的心臟撘橋,插入導(dǎo)管的方法改変成可移動的MEMS傳感器,可以大大降低手術(shù)的難度與風(fēng)險,可以想象未來應(yīng)用在腦的剌激或者脊椎骨壓迫的修復(fù)等應(yīng)用中，有著極其廣闊的應(yīng)用前景。

　　同樣未來的醫(yī)療服務(wù)也可能實現(xiàn)全程智能化。如醫(yī)療機構(gòu)可以通過電話告訴患者服藥。Proteus已制造出硅基比毫米還小的傳感器,而這種傳感器可以與藥丸附在一起。當藥丸吞下遇到水時傳感器會自動打開,并能發(fā)出不是RF的傳導(dǎo)訊號。接受器可以用繃帶綁在皮膚表面或者皮下植入，以及象一個起博器一樣,然后將數(shù)據(jù)通過電話或者計算機網(wǎng)絡(luò)傳輸出去。這樣的病人就可以在家中,不必每天來到醫(yī)院進行醫(yī)療診斷。