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[導(dǎo)讀]全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)走入50奈米制程后,浸潤式曝光機臺(ImmersionScanner)出現(xiàn)大缺貨,尤其是最新款的NXT:1950i機種上,交期幾乎拉到快12個月,使得2010年才下訂單的臺系DRAM廠苦等多時;存儲器業(yè)者透露,爾必達(dá)(Elpida)陣

全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)走入50奈米制程后,浸潤式曝光機臺(ImmersionScanner)出現(xiàn)大缺貨,尤其是最新款的NXT:1950i機種上,交期幾乎拉到快12個月,使得2010年才下訂單的臺系DRAM廠苦等多時;存儲器業(yè)者透露,爾必達(dá)(Elpida)陣營開始轉(zhuǎn)向采購舊機種XT:1950i應(yīng)急。然美光(Micron)陣營則認(rèn)為,舊機種頂多用到40奈米制程就是極限,不像新機種NXT:1950i可以一路做到30奈米。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在進(jìn)入50奈米以下制程,都必須開始用ImmersionScanner,此機器設(shè)備1臺價格高達(dá)新臺幣10億~20億元,過去2年DRAM產(chǎn)業(yè)不景氣時,臺系廠商根本沒有資金可以去預(yù)定機臺,因此設(shè)備商ASML現(xiàn)在交貨都以臺積電、三星電子(SamsungElectronics)、東芝(Toshiba)等大廠為主,臺灣DRAM廠轉(zhuǎn)制程的進(jìn)度也因此被嚴(yán)重耽擱。

目前4大DRAM陣營當(dāng)中,三星和海力士(Hynix)等韓系大廠早已拿到ImmersionScanner機臺,不但已經(jīng)量產(chǎn)50奈米制程,也開始大量轉(zhuǎn)進(jìn)30奈米,美光陣營由于資金充足,ImmersionScanner機臺近期也都陸續(xù)到貨,只剩下爾必達(dá)陣營的ImmersionScanner機臺到位時程最晚。

存儲器業(yè)者透露,爾必達(dá)陣營中的臺系DRAM廠,日前也決定放棄等待交期長達(dá)12個月的新機種NXT:1950i,轉(zhuǎn)向采購舊機種XT:1950i,一來不用等太久,二來XT:1950i機種比NXT:1950i便宜約20%,可以節(jié)省支出費用。

然而,ASML新一代的NXT:1950i標(biāo)榜可以因應(yīng)到30奈米制程的技術(shù),且產(chǎn)出速度更快,1小時?出可達(dá)175~200片晶圓,但舊機種XT:1950i可能只能因應(yīng)到40奈米制程,屆時如果要再導(dǎo)入30奈米世代制程,就要再花錢更新機臺。

目前兩陣營各有各的說詞,美光陣營由于資金充裕且預(yù)定的時間點早,因此策略是傾向是一步到位,全數(shù)都采購最新的NXT:1950i,因應(yīng)美光、南亞科和華亞科計劃2011年將要開始導(dǎo)入35奈米,屆時不用再更新機臺。

然爾必達(dá)陣營確認(rèn)為,舊機種XT:1950i雖然只能做到40奈米世代,但現(xiàn)在要搶時效比較重要,ImmersionScanner機臺越早進(jìn)入,越可以快速轉(zhuǎn)進(jìn)42奈米制程,拉進(jìn)與同業(yè)間的距離,等到30奈米世代時,其實只要再補足一些機臺就可以繼續(xù)轉(zhuǎn)進(jìn),并不需要全數(shù)更換。

DRAM業(yè)者認(rèn)為,爾必達(dá)陣營為了搶時效采購XT:1950i世代的機器未必是壞事,如果現(xiàn)在不趕緊轉(zhuǎn)進(jìn)42奈米制程,光是靠63奈米制程支撐,雖然成本結(jié)構(gòu)仍有優(yōu)勢,但卻沒有2Gb產(chǎn)品可以滿足客戶的需要。

DRAM業(yè)者進(jìn)一步分析,爾必達(dá)一向擅長利用現(xiàn)有制程微縮,以最少的費用創(chuàng)造最大的效應(yīng),象是這次從65奈米微縮成的63奈米就是杰作之一,其成本效應(yīng)和50奈米不相上下,但投資金額卻降至最低。

未來到40奈米以下,爾必達(dá)也利用微縮技術(shù)的優(yōu)勢做了3個版本的技術(shù),包括40奈米4F2技術(shù)、35奈米和38奈米,屆時會看哪里個制程夠成熟,再選擇量產(chǎn)哪里項技術(shù),若幸運的話,XT:1950i在未來1年半之內(nèi)都可以持續(xù)使用,屆時需要再添購部分的NXT:1950i機臺時,ImmersionScanner機臺的缺貨荒可以早已解除。

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