德國(guó)艾爾芙特 – X-FAB Silicon Foundries，日前宣布為了MEMS的營(yíng)運(yùn)將在未來(lái)的三年投資5000萬(wàn)美金以上在無(wú)塵室、新設(shè)備、研發(fā)與人員，這些投資也反映X-FAB意義深遠(yuǎn)地聚焦在MEMS以因應(yīng)預(yù)期中MEMS的成長(zhǎng)。新品牌”X-FAB MEMS Foundry”在德國(guó)艾爾芙特的X-FAB廠區(qū)內(nèi)完全專注于先進(jìn)的MEMS生產(chǎn)與研發(fā)，并將整合所有X-FAB MEMS的業(yè)務(wù)。

X-FAB執(zhí)行長(zhǎng)Rudi De Winter表示，”在X-FAB所有的業(yè)務(wù)中，MEMS是一塊策略領(lǐng)域以服務(wù)我們客戶不斷成長(zhǎng)的需求。我們的客戶將受益于只專注在先進(jìn)MEMS技術(shù)的專用資源與專業(yè)的代工，并建立在X-FAB卓越技術(shù)的堅(jiān)固基礎(chǔ)上。此舉將帶領(lǐng)X-FAB朝向我們的目標(biāo)，成為全球前三大MEMS代工服務(wù)的供貨商。”

X-FAB近期MEMS的技術(shù)成就包含:

業(yè)界首個(gè)為MEMS三軸慣性傳感器(3-axis inertial sensor)提供的開(kāi)放性平臺(tái)，一個(gè)可以直接從代工廠量產(chǎn)的制程 為MEMS完成專用的貴金屬設(shè)備 生產(chǎn)8英吋MEMS的能力 可大量制造并整合CMOS的bulk與表面微機(jī)械加工技術(shù) 為主流MEMS應(yīng)用所發(fā)展的內(nèi)部技術(shù)平臺(tái)，如壓力傳感器、慣性傳感器、紅外線傳感器 可立即使用的MEMS加速度計(jì)的IP