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英特爾18吋晶圓邁大步　臺積電新廠發(fā)展留彈性

時間：2010-12-20 11:32:58
關鍵字： 臺積電    晶圓    英特爾    FAB   
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[導讀]半導體大廠英特爾(Intel)將于新晶圓廠D1X5支持18吋晶圓技術，顯示英特爾在18吋晶圓研發(fā)已有長足進展；對于18吋晶圓發(fā)展進度，臺積電指出，目前仍有部分設備機臺研發(fā)進度不足，希望能夠加緊腳步，若18吋晶圓發(fā)展順利，

半導體大廠英特爾(Intel)將于新晶圓廠D1X5支持18吋晶圓技術，顯示英特爾在18吋晶圓研發(fā)已有長足進展；對于18吋晶圓發(fā)展進度，臺積電指出，目前仍有部分設備機臺研發(fā)進度不足，希望能夠加緊腳步，若18吋晶圓發(fā)展順利，興建中的Fab15或未來Fab16都將保留彈性，視情況可設計與18吋晶圓兼容。

臺積電、英特爾、三星電子(SamsungElectronics)三大半導體廠于2008年時達成共識，宣布將于2012年進入18吋晶圓世代，進行試產(chǎn)，距今僅剩約1年時間，然過去2~3年受到景氣不振影響，半導體廠紛縮減資本支出，設備商亦遭受慘重損失，加上18吋晶圓設備造價不斐，讓許多設備廠裹足不前，在過去這段期間對于18吋晶圓發(fā)展，僅研究單位包括Sematech與比利時微電子研究所(IMEC)較為積極。

其中，IMEC于6月中正式啟用新擴建的無塵室，可進行18吋芯片研究，包括東京電子(TEL)微影機臺與艾斯摩爾(ASML)極紫外光(EUV)機臺將于2010年底進廠，然IMEC執(zhí)行長LucVandenHove指出，盡管隨著景氣回升，半導體設備廠對于投資開發(fā)18吋晶圓設備意愿回升，但由于投資金額龐大，未來仍將面臨相當大挑戰(zhàn)。

在業(yè)界方面，英特爾率先證實18吋晶?磠p畫到位，位于奧勒岡州研發(fā)晶圓廠D1X規(guī)劃在2013?}始運作，該廠將兼容18吋晶圓技術。至于臺積電方面，受制于部分機臺發(fā)展仍未到位，18吋晶圓發(fā)展進度較公司原預期來得慢。

臺積電指出，關于18吋晶圓發(fā)展樂見其成，并希望業(yè)界發(fā)展能夠加速，若能符合成本投資效益，就能導入生產(chǎn)。臺積電最新Fab15系以12吋廠來規(guī)劃，未來Fab16則尚未規(guī)劃，但若18吋晶圓發(fā)展能夠趕得上，新廠房都將保留彈性，視情況可規(guī)劃兼容18吋晶圓。

半導體業(yè)者指出，從過去經(jīng)驗來看，越大尺寸晶圓產(chǎn)出的確有其效益，然目前設備發(fā)展仍有諸多不足，業(yè)界亦正在發(fā)展次世代微影技術，希望能延續(xù)12吋晶圓發(fā)展，但實際投入18吋晶圓發(fā)展的設備商并不多，使得18吋晶圓廠問世的時間恐怕會再延后。

來源：Digitimes

作者：zhaobin

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