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[導讀]日本電子(JEOL)開發(fā)出了離子束聚焦(FIB)加工觀察裝置“JIB-4000”。將在2010年12月舉行的“SEMICON Japan 2010”上展出,同時開始銷售。 據日本電子介紹,此次的裝置是為了滿足讓任何人均可輕松獲得再現性較

日本電子(JEOL)開發(fā)出了離子束聚焦(FIB)加工觀察裝置“JIB-4000”。將在2010年12月舉行的“SEMICON Japan 2010”上展出,同時開始銷售。

據日本電子介紹,此次的裝置是為了滿足讓任何人均可輕松獲得再現性較高的數據這一要求而開發(fā)的 。該公司介紹了裝置的特點:加工方面,可利用大電流離子束更快更精細地加工樣品,通過利用低加速電壓加工,可降低加工時的樣品損傷。操作性方面,配備了各操作員均可登錄或退出的管理軟件。此外,還列舉了采用省空間設計、配備節(jié)能模式及配備氣體注入系統(tǒng)(gas injection system)等特點。主要的性能參數方面,離子源采用了液體金屬鎵(Ga),保證分辨率為5nm(加速電壓為30kV時),最大束電流為60nA(加速電壓為30kV時),加速電壓為1~30kV,樣品通過5軸馬達工作臺移動。該裝置的標準價格為4600萬日元以上。(記者:長廣 恭明)



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