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[導(dǎo)讀]晶圓代工大廠聯(lián)華電子(UMC,聯(lián)電)日前宣布成功為客戶產(chǎn)出微機電系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)感測器晶片,預(yù)計于今年進(jìn)入量產(chǎn);該公司表示其三年來投入 CMOS-MEMS 技術(shù)的研發(fā),終于獲得豐碩的成果。

晶圓代工大廠聯(lián)華電子(UMC,聯(lián)電)日前宣布成功為客戶產(chǎn)出微機電系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)感測器晶片,預(yù)計于今年進(jìn)入量產(chǎn);該公司表示其三年來投入 CMOS-MEMS 技術(shù)的研發(fā),終于獲得豐碩的成果。

聯(lián)電表示,采用該公司 CMOS-MEMS 技術(shù)制造的麥克風(fēng)元件已經(jīng)完成功能驗證,訊噪比(S/N ratio)可達(dá)到 56dBA 以上之水準(zhǔn),其性能極具國際競爭力,預(yù)計將于今年上半年提供工程樣品,接著便能進(jìn)入量產(chǎn)。 CMOS-MEMS 加速度計的產(chǎn)品開發(fā)也己符合消費性電子產(chǎn)品之應(yīng)用規(guī)格(1g~16g),其功能也達(dá)量產(chǎn)的目標(biāo)。

除了已與多家客戶合作開發(fā)各樣的 MEMS 晶片和高度整合的 CMOS-MEMS 產(chǎn)品,擴展微機電感測器于生活或環(huán)境監(jiān)測之高階應(yīng)用之外,聯(lián)電也以自身多樣性的CMOS制程技術(shù),提供微機電專用 ASIC 晶片之專工服務(wù),以支援各種微機電應(yīng)用。

MEMS技術(shù)的開發(fā)是一個極大的挑戰(zhàn),我們在MEMS技術(shù)上獲得的成功,證明了聯(lián)華電子對客戶一貫的承諾,提供創(chuàng)新、高效能并且簡潔的解決方案?!孤?lián)電特殊技術(shù)開發(fā)資深處長陳立哲表示。

面對MEMS感測器應(yīng)用的日益普及, CMOS-MEMS 專工服務(wù)需求也急速增加;聯(lián)電表示未來將開放此 CMOS-MEMS 技術(shù),提供產(chǎn)業(yè)及學(xué)術(shù)界做為新元件的開發(fā),以期降低IC設(shè)計公司的進(jìn)入門檻,提升臺灣在全球MEMS產(chǎn)業(yè)的整體競爭力。



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