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[導(dǎo)讀]在半導(dǎo)體和平面顯示器產(chǎn)業(yè)居領(lǐng)導(dǎo)地位的電子化學(xué)品供應(yīng)商安智(AZ)電子材料與IBM簽署了一項協(xié)議,開發(fā)新世代的微影技術(shù),一種以塊狀聚合物為基礎(chǔ)的材料,可以應(yīng)用在與傳統(tǒng)的微影及半導(dǎo)體制程設(shè)備相容的定向自組裝制程

半導(dǎo)體和平面顯示器產(chǎn)業(yè)居領(lǐng)導(dǎo)地位的電子化學(xué)品供應(yīng)商安智(AZ)電子材料與IBM簽署了一項協(xié)議,開發(fā)新世代的微影技術(shù),一種以塊狀聚合物為基礎(chǔ)的材料,可以應(yīng)用在與傳統(tǒng)的微影及半導(dǎo)體制程設(shè)備相容的定向自組裝制程。

安智執(zhí)行長Geoff Wild表示,與IBM-Almaden研發(fā)團隊的合作,發(fā)展替代的定義圖案解決方案;IBM在這個領(lǐng)域的先驅(qū)地位,為AZ-IBM這項未來應(yīng)用于半導(dǎo)體制造技術(shù)的DSA制程的成功,奠定了深厚的技術(shù)基礎(chǔ)。

IBM研發(fā)的副總裁T.C.陳說,當半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)朝向克服縮小設(shè)計節(jié)點的既有挑戰(zhàn),導(dǎo)致了設(shè)計、制程開發(fā)和光罩成本的上升;與安智的合作將使IBM能夠發(fā)展新的突破性及創(chuàng)新性的微影技術(shù),讓整體半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展持續(xù)前進,同時兼顧降低生產(chǎn)設(shè)備及制程的總成本。

安智的技術(shù)長Ralph Dammel表示,電子產(chǎn)業(yè)持續(xù)專注于改善操作成本,其中一個方式是使用智慧型化學(xué)品來擴展和增強用于定義圖案的半導(dǎo)體設(shè)備功能;DSA技術(shù)正是朝此方向邁進,這也正是安智企盼建構(gòu)在IBM多年DSA經(jīng)驗基礎(chǔ)上,使之能成為這項材料的首要供應(yīng)商。





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