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[導(dǎo)讀]深紫外光(EUV)技術(shù)是次世代微影技術(shù)之一,其他還還包括無光罩多重電子束、浸潤式微影多重曝光技術(shù)等,EUV技術(shù)主要的開發(fā)商是設(shè)備大廠愛司摩爾(ASML),當(dāng)半導(dǎo)體制程技術(shù)走入20奈米或是10奈米以下,現(xiàn)有的浸潤式曝光(I

深紫外光(EUV)技術(shù)是次世代微影技術(shù)之一,其他還還包括無光罩多重電子束、浸潤式微影多重曝光技術(shù)等,EUV技術(shù)主要的開發(fā)商是設(shè)備大廠愛司摩爾(ASML),當(dāng)半導(dǎo)體制程技術(shù)走入20奈米或是10奈米以下,現(xiàn)有的浸潤式曝光(Immersion Scanner)機(jī)臺(tái)就不敷使用,必須進(jìn)轉(zhuǎn)到下一世代的微影技術(shù)。

浸潤式曝光機(jī)臺(tái)是在光源與晶圓中間加入水的原理,使波長縮短到132奈米的微影技術(shù),EUV曝光設(shè)備是利用波長極短的紫外線,在硅基板上刻出更微細(xì)的電路圖案。

目前支持EUV技術(shù)陣營包括三星電子(Samsung Electronics)、海力士(Hynix)、臺(tái)積電、東芝(Toshiba)、全球晶圓(Global Foundries)等,其中臺(tái)積電除了EUV技術(shù)之外,也投入無光罩多重電子束制程開發(fā),顯然是多方技術(shù)壓寶;而臺(tái)系DRAM廠中,目前僅有瑞晶決定采購EUV機(jī)臺(tái),預(yù)計(jì)2012年機(jī)臺(tái)設(shè)備才會(huì)到位,屆時(shí)時(shí)間點(diǎn)當(dāng)好趕上轉(zhuǎn)進(jìn)20奈米制程。

目前EUV機(jī)臺(tái)最為人詬病之處在于成本價(jià)格太高,加上光罩與外圍材料設(shè)備成本也相當(dāng)高,對(duì)晶圓廠是很大的成本負(fù)擔(dān),業(yè)者希望未來機(jī)臺(tái)成熟度高、光罩及光阻等技術(shù)改進(jìn)下能降低成本售價(jià)。

過去1臺(tái)浸潤式曝光機(jī)售價(jià)約新臺(tái)幣10~15億元,現(xiàn)在1臺(tái)EUV機(jī)臺(tái)售價(jià)? O浸潤式曝光機(jī)的2~3倍,約1億美元,且= x設(shè)備恐怕只能用來轉(zhuǎn)換1萬片的12吋晶圓,現(xiàn)在1座12吋晶圓廠少則3~5萬片,多則12~15萬片,未來轉(zhuǎn)進(jìn)20奈米制程的代價(jià)相當(dāng)貴。

ASML投入EUV機(jī)臺(tái)技術(shù)的開發(fā)費(fèi)用已超過10億歐元,第1代EUV機(jī)臺(tái)NXE3100已陸續(xù)出貨,預(yù)計(jì)2012年將推出量產(chǎn)型機(jī)臺(tái)NEX3300。(連于慧)



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