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[導讀]記者林政鋒/攝影國產(chǎn)第一臺晶圓級全自動曝光機上市,由科毅公司及金屬中心合作研發(fā)成功,產(chǎn)品良率近百分百,價格僅進口貨的一半,將銷往臺灣與大陸市場,前景看俏。 金屬中心董事長黃啟川說,積極發(fā)展高附加價


記者林政鋒/攝影國產(chǎn)第一臺晶圓全自動曝光機上市,由科毅公司及金屬中心合作研發(fā)成功,產(chǎn)品良率近百分百,價格僅進口貨的一半,將銷往臺灣與大陸市場,前景看俏。

金屬中心董事長黃啟川說,積極發(fā)展高附加價值的設備研發(fā),目前精密機電研發(fā)團隊突破多項技術障礙,先后為國內(nèi)數(shù)家知名廠商完成多項關鍵設備開發(fā),最近第一臺晶圓級全自動曝光機,順利投產(chǎn),并陸續(xù)接獲來自海內(nèi)外知名廠家的訂單,這是國內(nèi)高階設備開發(fā)歷史性的一刻。

科毅科技總經(jīng)理林憲維表示,科毅憑借多年的黃光制程設備經(jīng)驗,在工業(yè)局與金屬中心協(xié)助下開發(fā)國產(chǎn)第一臺用于半導體封測產(chǎn)業(yè)的晶圓級全自動曝光機,帶動半導體先進設備制造技術升級。

林憲維指出,晶圓全自動曝光機屬于精密機構、影像視覺、運動控制、微影制程等多重領域的技術整合,開發(fā)門坎相當高,因此過去IC封測廠這類自動設備全依賴進口,相對成本也偏高。

如今國產(chǎn)品成功上市,每部曝光機價格至少比進口貨節(jié)省50%,而且產(chǎn)品良率接近百分百,可讓產(chǎn)業(yè)界更有競爭力。

林憲維說,未來科毅將不斷深化專精的微影曝光制程技術,并將觸角由原來的半導體、LED、太陽光電等,延伸至觸控與軟性電子等熱門產(chǎn)業(yè)。



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