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[導(dǎo)讀]Mapper為荷蘭集成電路微影設(shè)備制造業(yè)者,以創(chuàng)新科技為集成電路產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)下一世代具成本效益的微影設(shè)備,其運(yùn)用大量平行的電子束,使高分辨率電子束達(dá)到超高晶圓生產(chǎn)量,同時(shí)不需使用光罩,可望大幅降低未來(lái)世代集成電

Mapper為荷蘭集成電路微影設(shè)備制造業(yè)者,以創(chuàng)新科技為集成電路產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)下一世代具成本效益的微影設(shè)備,其運(yùn)用大量平行的電子束,使高分辨率電子束達(dá)到超高晶圓生產(chǎn)量,同時(shí)不需使用光罩,可望大幅降低未來(lái)世代集成電路制造成本。
Mapper于2007年9月首度展示無(wú)光罩大量平行電子束微影技術(shù),臺(tái)積電于2008年10月宣布和Mapper合作,以Mapper第1臺(tái)12吋無(wú)光罩電子束微影設(shè)備,提供臺(tái)積電進(jìn)一步研究22奈米及更先進(jìn)制程。臺(tái)積電在2010年2月宣布,Mapper安裝在臺(tái)積電晶圓12廠超大晶圓廠的原型機(jī)臺(tái),正不斷重復(fù)寫出超威小電路組件。(鄭茜文)


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