[導讀]聯(lián)電(UMC)稍早前在2009國際電子組件會議(International Electron Device Meeting,IEDM)中,發(fā)表了其獨特的28奈米制程混合型高介電系數(shù)╱金屬閘極(HK/MG)技術。
業(yè)界現(xiàn)有兩種不同的HK/MG整合方案同時并行,分別為
聯(lián)電(UMC)稍早前在2009國際電子組件會議(International Electron Device Meeting,IEDM)中,發(fā)表了其獨特的28奈米制程混合型高介電系數(shù)╱金屬閘極(HK/MG)技術。
業(yè)界現(xiàn)有兩種不同的HK/MG整合方案同時并行,分別為Gate-first與Gate-last。以Gate-first而言,HK/MG系于閘極成型之前即置入,而Gate-last或稱Replacement metal gate,金屬閘極則是于多晶硅假閘極成型之后填入,旋即移除假閘極。
而聯(lián)電的新方案結合了nMOS的Gate-first制程優(yōu)點,以及pMOS的Gate-last特性等兩項優(yōu)勢,與僅用Gate-first制程相比,可強化晶體管效能達30%。
除了擁有此次新提出的混合型技術之外,聯(lián)電也表示,自從業(yè)界采用Gate-last技術量產CPU之后,該公司一直致力于Gate-last技術之開發(fā)。聯(lián)電的先進制程開發(fā)系于其臺南廠區(qū)的12吋晶圓廠與研發(fā)中心進行。
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