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QMEMS將擠壓石英晶振和硅MEMS的空間

時(shí)間：2008-11-27 06:33:34

關(guān)鍵字： MEMS 晶振石英振蕩器

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[導(dǎo)讀]MEMS振蕩器采用集成電路工藝制造出機(jī)械振動(dòng)器件，這樣可以被集成在硅芯片中。傳統(tǒng)的石英晶體需要切割和傾斜(beveling)加工，但體積可以做的更小，溫度漂移的適應(yīng)性好，采用印刷技術(shù)的成本和功耗可以更低。聲稱已經(jīng)

MEMS振蕩器采用集成電路工藝制造出機(jī)械振動(dòng)器件，這樣可以被集成在硅芯片中。傳統(tǒng)的石英晶體需要切割和傾斜(beveling)加工，但體積可以做的更小，溫度漂移的適應(yīng)性好，采用印刷技術(shù)的成本和功耗可以更低。

聲稱已經(jīng)占據(jù)23%晶振市場(chǎng)份額日本愛普生拓優(yōu)科夢(mèng)（Epson Toyocom）公司宣布他們采用類似半導(dǎo)體光刻工藝制造一種石英MEMS(QMEMS)，并保持在硅MEMS振蕩器市場(chǎng)的前列地位。

QMEMS的規(guī)格說明書顯示出與競(jìng)爭(zhēng)的MEMS振蕩器（SiTime、Discera、Silicon Clock和Mobius微系統(tǒng)等公司的產(chǎn)品）相比性能差不多或更好。

“傳統(tǒng)來說MEMS需要硅工藝，所以他們叫我們的產(chǎn)品QMEMS，因?yàn)槲覀儾捎檬?，而不是硅，”愛普生拓?yōu)科夢(mèng)的Debbie Word表示，“我們用石英晶圓在類似半導(dǎo)體廠的工廠里面生產(chǎn)，采用光照、蝕刻、鍍膜和犧牲層去除的方法 - 與硅MEMS芯片的工藝差不多，但我們使用的是石英材料?！?/FONT>

壓電石英晶體已經(jīng)成為標(biāo)準(zhǔn)，一旦在其中通過一個(gè)小電流，就可以產(chǎn)生設(shè)定頻率的振蕩。該振蕩頻率不受封裝內(nèi)的溫度改變的影響。石英是地球上資源豐富的壓電材料，通過精密的切割和傾斜，可以讓石英振蕩器得到需要的頻率。

幾年前，愛普生采用光刻工藝生產(chǎn)了厚度在2毫米下的音叉共鳴器，這個(gè)是傳統(tǒng)的切割和傾斜工藝不能達(dá)到的。這個(gè)工藝用在了QMEMS振蕩器上，從而在規(guī)格上可以與硅MEMS振蕩器競(jìng)爭(zhēng)。

市場(chǎng)分析報(bào)告顯示對(duì)于OEM來說不會(huì)有什么改變?！癕EMS是可行的另一種非傳統(tǒng)的方案，因?yàn)榭梢栽诟偷膬r(jià)格提供增加的功能，”MEMS分析師Roger Grace表示，“工程師在尋找最好的可能的方案，如果QMEMS定時(shí)器芯片可以在最低的價(jià)格提供他們需要的功能，那該產(chǎn)品就會(huì)取得成功，不論采用何種生產(chǎn)工藝?！?/FONT>

愛普生拓優(yōu)科夢(mèng)還計(jì)劃采用QMEMS的工藝生產(chǎn)大氣壓力傳感器，并且已經(jīng)采用該工藝生產(chǎn)了超?。?* 2mm）陀螺儀，用于數(shù)碼相機(jī)的圖像穩(wěn)定防抖。

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信號(hào)接收靈敏度低至-167dBm，世強(qiáng)硬創(chuàng)上新10MHz低噪聲衛(wèi)星級(jí)振蕩器

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[新聞速遞]

智芯傳感板裝式壓力傳感器助力我國(guó)高端MEMS傳感器做大、做強(qiáng)、做精、做專

智芯傳感錨定對(duì)標(biāo)高端進(jìn)口MEMS壓力傳感器產(chǎn)品，投入大量研發(fā)資金，利用其雄厚的技術(shù)科研實(shí)力，獲得了多項(xiàng)自主研發(fā)專利，并掌握了包括傳感器產(chǎn)品的設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、封裝、標(biāo)定及模組的核心流程工藝在內(nèi)的六大核心技術(shù)。

關(guān)鍵字：智芯傳感傳感器 MEMS

[劉巖軒]

電流消耗低于電池自放電，ADI MEMS加速度計(jì)讓監(jiān)測(cè)“永久在線”

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[電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化]

什么是MEMS？中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)MEMS分會(huì)不容錯(cuò)過

全球正經(jīng)歷第三次產(chǎn)業(yè)化浪潮，5G、物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展極大地帶動(dòng)了MEMS產(chǎn)品的需求，MEMS市場(chǎng)規(guī)模正在實(shí)現(xiàn)突破性增長(zhǎng)。而MEMS因其器件種類繁多、制造工藝不一等特點(diǎn)，制造一直是主要的行業(yè)痛點(diǎn)。中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)MEMS分會(huì)...

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[技術(shù)解析]