美國(guó)應(yīng)用材料公司(Applied Materials)在臺(tái)灣地區(qū)開設(shè)了一家新的300毫米晶圓重生(wafer reclaim)中心。
應(yīng)用材料公司的工廠運(yùn)營(yíng)服務(wù)部門總經(jīng)理Mark Stark表示,這家中心占地3120平米,位于臺(tái)灣地區(qū)的科學(xué)工業(yè)園區(qū),將包括三個(gè)潔凈室,向客戶提供晶圓重生技術(shù)。應(yīng)用材料聲稱,它可以把測(cè)試晶圓的幫助延長(zhǎng)45%以上,每個(gè)晶圓可以使用11次。國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備暨材料協(xié)會(huì)(SEMI)的一項(xiàng)研究表明,測(cè)試晶圓在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的使用上升,占總體硅晶圓用量的15%左右。這是因?yàn)闇y(cè)試晶圓在300毫米工廠中的使用增加。
Mark Stark表示:“通常情況下,晶圓是晶圓廠的最大消耗成本來源。由于整個(gè)產(chǎn)業(yè)面臨硅短缺,晶圓重生服務(wù)將得到更多采用,以幫助抵消硅供應(yīng)有限和非產(chǎn)品晶圓成本上升的影響?!?/P>
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