GLOBALFOUNDRIES日前宣布與SVTC 技術(shù)公司結(jié)成戰(zhàn)略聯(lián)盟，加速進(jìn)行微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的量產(chǎn)制造。這項合作著重于技術(shù)開發(fā)合作，將有助GLOBALFOUNDRIES達(dá)成目標(biāo)，成為MEMS晶圓廠的領(lǐng)導(dǎo)者。

微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)是半導(dǎo)體市場成場最快的區(qū)塊之一，MEMS應(yīng)用廣泛，從車用感應(yīng)器、到噴墨打印機(jī)、到高端智能手機(jī)與游戲控制器都有MEMS的應(yīng)用。然而MEMS的制造過去主要局限于特定的晶圓制造廠，采用“單一制程、單一產(chǎn)品”的方式。為了讓MEMS市場得以持續(xù)快速成長，GLOBALFOUNDRIES正采取積極策略，通過與CMOS流程類似的標(biāo)準(zhǔn)化方式，將MEMS從特定制造平臺轉(zhuǎn)移到量產(chǎn)平臺。

200mm晶圓事業(yè)部高級副總裁兼GLOBALFOUNDRIES新加坡總經(jīng)理Raj Kumar表示：“在MEMS轉(zhuǎn)移到CMOS量產(chǎn)方面，GLOBALFOUNDRIES萬事具備，可望扮演領(lǐng)導(dǎo)者角色。我們在MEMS制造方面向來表現(xiàn)優(yōu)異，也有許多以CMOS為基礎(chǔ)的科技可以運(yùn)用到MEMS上。目前已有計劃要增加基礎(chǔ)建設(shè)與專業(yè)技術(shù)來支持在3E晶圓廠提供專屬的MEMS生產(chǎn)線，目標(biāo)是在2011年第三季前開始MEMS裝置的量產(chǎn)。”

新興硅晶圓科技商用服務(wù)供應(yīng)商的領(lǐng)導(dǎo)者SVTC，將提供全面的開發(fā)設(shè)施，協(xié)助GLOBALFOUNDRIES使用全系列的先進(jìn)CMOS與MEMS設(shè)備，為顧客開發(fā)硅晶圓解決方案。SVTC也將為GLOBALFOUNDRIES工程師提供MEMS技術(shù)研發(fā)支持及培訓(xùn)。

SVTC首席執(zhí)行官Bert Bruggeman表示：“MEMS技術(shù)市場正蓬勃發(fā)展，但無晶圓廠設(shè)計公司目前可將MEMS設(shè)計量產(chǎn)上市的選擇有限。我們相信，我們最尖端的研發(fā)設(shè)施與MEMS專長將協(xié)助GLOBALFOUNDRIES改造MEMS晶圓市場環(huán)境，為世界頂尖設(shè)計公司提供量產(chǎn)CMOS制造服務(wù)。”
 
GLOBALFOUNDRIES在MEMS方面的研發(fā)將先著重于三種應(yīng)用：加速計、陀螺儀及無線電射頻微機(jī)電系統(tǒng)。加速計在手機(jī)與消費(fèi)電子產(chǎn)品上提供高級用戶體驗；陀螺儀提供個人導(dǎo)航的影像穩(wěn)定與方向偵測能力；無線電射頻微機(jī)電系統(tǒng)則支持手機(jī)的多頻段操作，同時縮小手機(jī)體積并減少電力消耗。

GLOBALFOUNDRIES的MEMS產(chǎn)能主要來自位于新加坡的3E晶圓廠。該地區(qū)正迅速成為MEMS市場的重要樞紐，而GLOBALFOUNDRIES也在其中扮演重要角色。GLOBALFOUNDRIES 是新加坡科技研發(fā)局(A*STAR) MEMS集團(tuán)(MEMS Consortium)的創(chuàng)立成員之一；集團(tuán)成員包括多個跨國公司，涵蓋從電腦輔助設(shè)計(CAD)到封裝的完整MEMS供應(yīng)鏈。