國產(chǎn)LED(發(fā)光二極管)外延芯片核心設(shè)備MOCVD(金屬有機(jī)物化學(xué)氣相淀積)近日在廣東昭信半導(dǎo)體裝備制造有限公司成功下線。去年1月，昭信集團(tuán)與華中科技大學(xué)簽約研發(fā)LED外延芯片核心設(shè)備MOCVD，不到一年，這一設(shè)備成功推向市場(chǎng)。廣東昭信半導(dǎo)體裝備制造有限公司總經(jīng)理甘志銀表示，一旦國產(chǎn) MOCVD設(shè)備產(chǎn)業(yè)化推向市場(chǎng)，將使LED芯片生產(chǎn)投資成本大大降低，給國內(nèi)LED產(chǎn)業(yè)帶來革命性影響，國內(nèi)甚至國外的LED封裝產(chǎn)品價(jià)格將大大下降。國產(chǎn)LED核心裝備正在突圍，但是，國產(chǎn)MOCVD設(shè)備的成功下線能否改變LED外延芯片核心裝備市場(chǎng)格局還有待市場(chǎng)的檢驗(yàn)。

設(shè)備國產(chǎn)化大大降低LED成本

MOCVD是LED外延芯片生產(chǎn)過程中最重要的設(shè)備，目前，世界范圍內(nèi)能夠生產(chǎn)這一設(shè)備的企業(yè)也不過3到5家，主要包括德國愛思強(qiáng)(Aixtron，70%國際市場(chǎng)占有率)、英國托馬仕雯(ThomasSwan，被Aixtron收購)、美國維易科(Veeco，20%國際市場(chǎng)占有率)、美國Emcore(被Veeco收購)、日本大陽酸素(Sanso，7%國際市場(chǎng)占有率，主要在本國銷售)。國內(nèi)LED廠家所需的設(shè)備必須進(jìn)口，而此類設(shè)備每臺(tái)約需1500萬元，購置成本約占整個(gè)LED生產(chǎn)線成本的2/3。蘇州納晶光電有限公司董事長、中科院蘇州納米所研究員、博士生導(dǎo)師梁秉文博士表示，MOCVD等關(guān)鍵設(shè)備國產(chǎn)化的成功必定意味著LED成本的降低。“目前，這些設(shè)備相對(duì)而言非常貴，正常情況下，在最初幾年，設(shè)備的折舊大約占整個(gè)LED芯片成本的12%-40%左右，因此關(guān)鍵設(shè)備的國產(chǎn)化會(huì)大大降低LED的制造成本。”梁秉文表示。

福建省光電子行業(yè)協(xié)會(huì)秘書長、原中國光學(xué)光電子行業(yè)協(xié)會(huì)光電器件分會(huì)秘書長彭萬華在接受記者采訪時(shí)表示，目前全球能制造MOCVD 外延爐設(shè)備的有美國、德國、日本和韓國，我國也有幾個(gè)單位研制了MOCVD設(shè)備，也出過樣機(jī)供使用單位試用，但不知為什么就沒有進(jìn)展下去。“因?yàn)?MOCVD設(shè)備是LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展的最關(guān)鍵設(shè)備，對(duì)LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有舉足輕重的作用，國家相關(guān)部門要集中原來試制MOCVD設(shè)備的單位的人才和資源，集中投入進(jìn)行重點(diǎn)開發(fā)，解決制造設(shè)備中的關(guān)鍵技術(shù)，掌握具有自主產(chǎn)權(quán)的核心技術(shù)，并盡早實(shí)現(xiàn)MOCVD設(shè)備國產(chǎn)化量產(chǎn)。只有這樣才會(huì)加快推動(dòng)LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展，降低LED相關(guān)產(chǎn)品的成本，實(shí)現(xiàn)更大的產(chǎn)業(yè)發(fā)展。”彭萬華認(rèn)為。

隨著技術(shù)的發(fā)展和LED在綠色節(jié)能方面日益凸顯的優(yōu)勢(shì)，LED在各個(gè)領(lǐng)域得到了越來越廣泛的應(yīng)用，最初的技術(shù)障礙漸漸被消除，LED發(fā)展日新月異，旺盛的需求也刺激著LED芯片核心生產(chǎn)設(shè)備———MOCVD朝著低成本、高性能、高產(chǎn)能的方向發(fā)展。

工藝與設(shè)備相結(jié)合是推廣關(guān)鍵

沒有設(shè)備的工藝一定是紙上談兵，沒有工藝的設(shè)備將是無源之水。南昌大學(xué)副校長、晶能光電首席科學(xué)家江風(fēng)益教授在接受《中國電子報(bào)》記者采訪時(shí)表示，開展生產(chǎn)型 MOCVD設(shè)備要充分考慮工藝與設(shè)備的結(jié)合，設(shè)備和工藝兩者都不能偏廢。江風(fēng)益建議，國家不但要資助MOCVD設(shè)備的研發(fā)，還要在研發(fā)階段資助外延生產(chǎn)企業(yè)去試用MOCVD。因?yàn)樵谠囉眠^程中，企業(yè)不是穩(wěn)定生產(chǎn)，需要耗巨資根據(jù)設(shè)備特性摸索外延生產(chǎn)工藝。要摸索出成功的外延生產(chǎn)工藝所花費(fèi)的人力物力財(cái)力，甚至要超過設(shè)備本身的研發(fā)費(fèi)用。

中國LED產(chǎn)業(yè)要想健康、迅速的發(fā)展，一定要在關(guān)鍵設(shè)備上下工夫。梁秉文認(rèn)為，MOCVD等關(guān)鍵裝備是一個(gè)體現(xiàn)國家意志的事，國家一定要大力地投入，全面地支持去做這件事。特別要注意工藝與設(shè)備的結(jié)合，要鼓勵(lì)外延芯片廠商應(yīng)用國產(chǎn)設(shè)備，同時(shí)要給予一定的資助。

作為設(shè)備的制造商，不斷完善設(shè)備各種性能，適應(yīng)客戶需求是永恒的主題。甘志銀表示，在樣機(jī)下線后，他們的研發(fā)團(tuán)隊(duì)還將閉關(guān)約4個(gè)月，他們會(huì)根據(jù)客戶的數(shù)據(jù)要求，對(duì)該設(shè)備進(jìn)行調(diào)試，到第5、6月份就將進(jìn)入量產(chǎn)并接受訂單。“我們正在數(shù)據(jù)整理過程中，我們會(huì)用最短的時(shí)間給我們的客戶一個(gè)滿意的答案，我們做這臺(tái)設(shè)備的目標(biāo)就是要直接與國外產(chǎn)品進(jìn)行競(jìng)爭(zhēng)，我們會(huì)不斷地展示并完善我們?cè)O(shè)備的進(jìn)展，最終讓設(shè)備走向市場(chǎng)。”甘志銀在接受《中國電子報(bào)》記者采訪時(shí)表示。

隨著LED應(yīng)用的不斷深入和擴(kuò)展，上游關(guān)鍵設(shè)備的產(chǎn)業(yè)化必將得到進(jìn)一步發(fā)展。甘志銀表示，昭信還將會(huì)陸續(xù)推出更高產(chǎn)能的單腔與多腔體設(shè)備。我們有理由相信，昭信半導(dǎo)體MOCVD設(shè)備將成為改變中國乃至世界MOCVD設(shè)備市場(chǎng)格局的重要力量。