“工欲善其事，必先利其器。”集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展離不開裝備制造業(yè)的支撐，而裝備業(yè)的發(fā)展水平也是衡量一個(gè)國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)總體水平的重要標(biāo)準(zhǔn)。近年來(lái)，我國(guó)集成電路裝備業(yè)取得了長(zhǎng)足的進(jìn)步，12英寸設(shè)備在多個(gè)工序?qū)崿F(xiàn)國(guó)產(chǎn)化。但由于8英寸、12英寸集成電路生產(chǎn)線在我國(guó)仍有很大的發(fā)展空間，這也給國(guó)外的二手設(shè)備提供了用武之地，同時(shí)，也給從事設(shè)備翻新的企業(yè)提供了發(fā)展機(jī)遇。

12英寸國(guó)產(chǎn)設(shè)備進(jìn)展顯著

●多種核心裝備實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化

●12英寸65納米是下階段重點(diǎn)

一條標(biāo)準(zhǔn)的集成電路生產(chǎn)線需要300～400臺(tái)工藝設(shè)備，一般認(rèn)為，其核心裝備包括光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)、CVD(化學(xué)氣相淀積)設(shè)備、PVD(物理氣相淀積)設(shè)備和高溫爐;隨著光刻精度進(jìn)入90納米節(jié)點(diǎn)，銅制程設(shè)備也進(jìn)入核心裝備的行列;此外，用于硅片表面處理的清洗機(jī)也是非常重要的裝備。

“在集成電路生產(chǎn)設(shè)備中，刻蝕機(jī)的重要性僅次于光刻機(jī)。國(guó)內(nèi)裝備制造企業(yè)在柵刻蝕和介質(zhì)刻蝕兩個(gè)領(lǐng)域都已經(jīng)取得了突破。”02專項(xiàng)總體專家組組長(zhǎng)、中科院微電子所所長(zhǎng)葉甜春告訴記者，“目前，面向12英寸集成電路生產(chǎn)線的國(guó)產(chǎn)刻蝕機(jī)已通過(guò)了芯片制造廠的考核認(rèn)證，用于8英寸生產(chǎn)線的刻蝕機(jī)已經(jīng)進(jìn)入市場(chǎng)。”

摻雜也是集成電路生產(chǎn)的重要工序，隨著技術(shù)的進(jìn)步，用離子注入進(jìn)行摻雜的工藝已經(jīng)逐漸取代了早期的擴(kuò)散工藝。近幾年，國(guó)內(nèi)裝備制造企業(yè)在該領(lǐng)域也取得了顯著進(jìn)步。據(jù)葉甜春介紹，目前國(guó)產(chǎn)離子注入機(jī)已能滿足8英寸生產(chǎn)線的要求，12英寸離子注入機(jī)也已進(jìn)入整機(jī)調(diào)試階段。“除了刻蝕機(jī)和離子注入機(jī)之外，用于12英寸集成電路生產(chǎn)的國(guó)產(chǎn)高溫爐也已經(jīng)送進(jìn)芯片制造廠進(jìn)行工藝認(rèn)證考核。”葉甜春說(shuō)。

針對(duì)清洗工序，中國(guó)裝備制造企業(yè)也有不錯(cuò)的表現(xiàn)。2009年，盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司已經(jīng)研制出適用于45納米、12英寸集成電路生產(chǎn)的單片清洗設(shè)備，并送到國(guó)際知名芯片制造企業(yè)進(jìn)行生產(chǎn)線測(cè)試。該公司工藝工程師賈照偉在接受記者采訪時(shí)表示：“隨著集成電路精度的提升，對(duì)硅片表面顆粒物和硅片均勻性的要求越來(lái)越高，傳統(tǒng)上用于批量清洗硅片的槽式清洗機(jī)有逐漸被單片清洗機(jī)取代的趨勢(shì)。”

記者從《國(guó)家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”2009年項(xiàng)目指南》中了解到，02專項(xiàng)把2012年之前集成電路裝備的研發(fā)目標(biāo)定位在65納米節(jié)點(diǎn)，其中，PVD、銅互連、快速熱退火、勻膠顯影以及相關(guān)檢測(cè)設(shè)備將成為研發(fā)重點(diǎn)。葉甜春表示：“上海華力微電子有限公司承擔(dān)的‘909工程升級(jí)改造’項(xiàng)目將采用65納米工藝，02專項(xiàng)的實(shí)施也將滿足該項(xiàng)目的需求。”

二手設(shè)備瞄準(zhǔn)8英寸市場(chǎng)

●8英寸二手設(shè)備期待進(jìn)入中國(guó)市場(chǎng)

●二手設(shè)備廠家尋求整合

近年來(lái)，國(guó)外的集成電路產(chǎn)品生產(chǎn)越來(lái)越多地由8英寸生產(chǎn)線轉(zhuǎn)至12英寸生產(chǎn)線，而在國(guó)際金融危機(jī)的沖擊下，很多8英寸生產(chǎn)線也提前停產(chǎn)。據(jù)曾經(jīng)管理過(guò)上華、宏力和中緯等多家IC代工企業(yè)的業(yè)內(nèi)知名專家蔡南雄統(tǒng)計(jì)，在全球范圍內(nèi)，目前已經(jīng)下線或即將下線的8英寸設(shè)備數(shù)量超過(guò)1萬(wàn)臺(tái)，一大批從事二手設(shè)備翻新和銷售的廠商也把目光投向中國(guó)市場(chǎng)。美國(guó)亞洲技術(shù)公司中國(guó)區(qū)總代葉野在接受記者采訪時(shí)表示，目前中國(guó)的集成電路生產(chǎn)線以6英寸和6英寸以下為主，8英寸生產(chǎn)線數(shù)量還不多，而二手設(shè)備的價(jià)格通常不到新設(shè)備價(jià)格的1/10，因此對(duì)投資者非常有吸引力。

如果國(guó)外二手設(shè)備大量涌入中國(guó)，是否會(huì)給本土裝備制造業(yè)帶來(lái)挑戰(zhàn)?葉甜春在接受記者采訪時(shí)表示：“國(guó)產(chǎn)8英寸設(shè)備已經(jīng)具有一定的競(jìng)爭(zhēng)力，當(dāng)然，目前也面臨著國(guó)外二手設(shè)備對(duì)市場(chǎng)空間的壓縮，不過(guò)我們?cè)谠缙谝?guī)劃時(shí)已經(jīng)考慮到這個(gè)因素，在降低成本、提高性價(jià)比方面已經(jīng)采取了相應(yīng)的策略。”他同時(shí)強(qiáng)調(diào)：“我們目前攻關(guān)的目標(biāo)主要是12英寸設(shè)備，一方面是因?yàn)?2英寸生產(chǎn)線在國(guó)際上已是主流，另一方面，對(duì)國(guó)內(nèi)企業(yè)來(lái)說(shuō)，設(shè)備的研發(fā)應(yīng)該走在工藝研發(fā)的前面，所以裝備業(yè)要加大步伐往前趕。”

盡管二手設(shè)備具有價(jià)格低廉的優(yōu)勢(shì)，但同樣面臨一系列難題。據(jù)葉野介紹，二手設(shè)備的拆卸、運(yùn)輸、翻新、安裝都需要依靠專業(yè)的公司，其技術(shù)難度不容忽視;對(duì)買家而言，能否確保備品備件的供應(yīng)也是需要考慮的問(wèn)題;此外，企業(yè)在購(gòu)買二手設(shè)備時(shí)還必須考慮自身的維修能力，因?yàn)樵诙衷O(shè)備出現(xiàn)故障以后，如果請(qǐng)?jiān)O(shè)備制造廠的工程師來(lái)進(jìn)行維修，這對(duì)企業(yè)而言是一筆巨大的開銷。葉野同時(shí)表示，中國(guó)從事集成電路二手設(shè)備翻新的公司還比較分散，各自為戰(zhàn)，無(wú)序競(jìng)爭(zhēng)，這對(duì)該產(chǎn)業(yè)自身的發(fā)展也非常不利。“我們準(zhǔn)備把業(yè)內(nèi)企業(yè)進(jìn)行整合，成立一個(gè)行業(yè)協(xié)會(huì)，加強(qiáng)成員之間的合作。預(yù)計(jì)這個(gè)協(xié)會(huì)將在今年年底正式成立。”葉野說(shuō)。