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SUSS MicroTec推出面向LED市場的專用光刻系統(tǒng)

時間：2010-06-10 09:22:34

關(guān)鍵字： LED MICRO 光刻 TE

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[導(dǎo)讀]SUSS MicroTec，全球知名的半導(dǎo)體行業(yè)及相關(guān)設(shè)備和工藝解決方案供應(yīng)商，推出新一代MA100e光刻機，專用于高亮度發(fā)光二極管(HB-LEDs)生產(chǎn)。MA100e基于SUSS MicroTec光刻機經(jīng)典設(shè)計，具有最大至4英寸的載片能力，每小時

SUSS MicroTec，全球知名的半導(dǎo)體行業(yè)及相關(guān)設(shè)備和工藝解決方案供應(yīng)商，推出新一代MA100e光刻機，專用于高亮度發(fā)光二極管(HB-LEDs)生產(chǎn)。MA100e基于SUSS MicroTec光刻機經(jīng)典設(shè)計，具有最大至4英寸的載片能力，每小時產(chǎn)量可達145片，業(yè)界領(lǐng)先。

電視機、顯示器等對LED背光的需求急劇增長，LED設(shè)備生產(chǎn)商必須盡力滿足這一市場增長需要。LED行業(yè)對成本很敏感，所以SUSS MicroTec設(shè)計的MA100e Gen2自動光刻機在成本控制方面極具競爭力。設(shè)備配置的高照度光路和預(yù)對準(zhǔn)系統(tǒng)大大縮短作業(yè)時間，功能上接近式光刻分辨率可達2.5um，極大提高了產(chǎn)率和成本效率。MA100e Gen2提供卓越的工藝延展性，使用戶能將新的芯片設(shè)計快速投入市場。

SUSS MicroTec總裁兼首席執(zhí)行官Frank Averdung先生指出：“我們清楚地認(rèn)識到尖端高亮度發(fā)光二極管技術(shù)日益增長的需求，并且看到LED業(yè)界為降低成本而開始向高度自動化方向發(fā)展。SUSS MicroTec開發(fā)的新一代的MA100e正是專為LED生產(chǎn)設(shè)計的高效率全自動光刻機，可以幫助我們的用戶降低每流明成本，提高生產(chǎn)效率。”

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