韓國(guó)三星SDI開(kāi)發(fā)出了采用氧化物半導(dǎo)體IGZO(In-Ga-Zn-O)材料的TFT 12.1英寸有機(jī)EL面板,并在“SID 2008”上公布了技術(shù)細(xì)節(jié)。該面板在玻璃底板上形成了采用氧化物半導(dǎo)體的有源矩陣型的TFT陣列和有機(jī)EL元件。

此次開(kāi)發(fā)的有機(jī)EL面板的圖元為1280×768圖元(WXGA),解析度為ppi。亮度為300cd/m2,對(duì)比度為2萬(wàn):1。采用底部發(fā)光結(jié)構(gòu),光從TFT底板側(cè)取得。有機(jī)EL材料采用的是低分子材料。但紅色用磷光材料,綠色和藍(lán)色采用螢光材料。
TFT的掩膜數(shù)量為7片。圖元間距為69μm×207μm,圖元電路由2個(gè)TFT和1個(gè)電容器構(gòu)成。采用底柵結(jié)構(gòu),柵極、源極及漏極的電極材料采用Mo,柵極絕緣膜采用SiOx/SiNx,并使用了現(xiàn)有的光刻制造技術(shù)。IGZO TFT的遷移率為17.2cm2s,開(kāi)關(guān)比為108以上,亞閾值斜率(S值)為0.28V/decade。
三星SDI指出,采用IGZO的TFT其優(yōu)勢(shì)在于可以著手量產(chǎn)大尺寸玻璃底板。使用此次的的TFT制作方法,甚至可以支援第8代底板。
(編輯:文靜)
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關(guān)鍵字: 專(zhuān)利侵權(quán) 三星 臺(tái)積電 高通公司 337調(diào)查 USITC