SVTC技術(shù)公司日前宣布將與Entrepix合作,這項(xiàng)合作將提供SVTC使用徳州德克薩斯晶圓場Tool Access Program (TAP)客戶所需的所有300 mm化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)的開發(fā)和制造服務(wù)。化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)在半導(dǎo)體制造是關(guān)鍵的制程步驟。

“這合作允許我們各自利用公司的專長。SVTC能夠提供具有整套過程和計(jì)量工具的最先進(jìn)的制造環(huán)境, Entrepix則供應(yīng)豐富的CMP工程設(shè)計(jì)和操作的經(jīng)驗(yàn)?！盨VTC的公司業(yè)務(wù)務(wù)發(fā)展副總理Dave Anderson說。

根據(jù)這協(xié)議,一切利用SVTC 300 mm Tool Access Program (TAP)的CMP程序處理,技術(shù)支援和顧客交接將由Entrepix的工程隊(duì)在SVTC廠址執(zhí)行這外包方式是根據(jù)Entrepix在它亞利桑那州坦佩市半導(dǎo)體工廠所采用的方式。

“利用我們根據(jù)加速成本節(jié)省,發(fā)展周期和獲利時(shí)效(time to revenue)的原則,所設(shè)計(jì)的整套CMP '快速前進(jìn)' (FastForward)的產(chǎn)品和服務(wù),在我們的坦佩市工廠我們已經(jīng)展示了外包CMP制程的明顯的益處。" Entrepix的執(zhí)行長Tim Tobin說。“通過與SVTC的合作，在其最先進(jìn)的工廠擴(kuò)大300mmCMP的服務(wù)使我們能夠?qū)ο冗M(jìn)的尖端技術(shù)提供同樣的好處。”

外包CMP在增長中

在內(nèi)部資源收縮的情況下,降低成本和下一代產(chǎn)品的發(fā)展依然是半導(dǎo)體裝置和材料制造商的最高前提。因而外包CMP的趨向增長。在最近一篇“CMP Market Summary and Forecast Report”的報(bào)導(dǎo),作市場分析的公司Laredo技術(shù)公司,預(yù)測CMP材料的總市場到西元2010年將超過美金17億元,外包這復(fù)雜的CMP處理的步驟,可允許制造商利用所須的專門技術(shù)和制程資源。如果由制造商本身各自發(fā)展,這是非常昂貴,并且要花費(fèi)很多時(shí)間。

SVTC將外包給Entrepix對其TAP的客戶提供CMP核心服務(wù),包括:實(shí)驗(yàn)的計(jì)劃和支持,工程設(shè)計(jì)方式的監(jiān)督和實(shí)施,資料的分析和報(bào)告,并能進(jìn)行測驗(yàn)性的生產(chǎn)活動。SVTC的Tool Access Program (TAP)則提供廠商使用200套以上的工具。這些工具可以用來完成下列的過程--微影技術(shù)(lithography),蝕刻(etch),化學(xué)機(jī)械研磨(CMP),清洗(cleaning),涂刷(coating),和計(jì)量(metrology)。

“SemiQuest公司已經(jīng)應(yīng)用SVTC最先進(jìn)的的300 mm CMP TAP方案來發(fā)展我們最先進(jìn)的CMP研磨墊。”耗材供應(yīng)商SemiQuest的總經(jīng)理Rajeev Bajaj博士說?！八麄兞碛械挠?jì)量儀器和支援幫助我們縮短習(xí)用期間,節(jié)省費(fèi)用.我們盼望這新合作能使SemiQuest建立成功的事業(yè)?！?/FONT>