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MEMS

我要報(bào)錯(cuò)
微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS， Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機(jī)電系統(tǒng)其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級(jí)，是一個(gè)獨(dú)立的智能系統(tǒng)。微機(jī)電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)（半導(dǎo)體制造技術(shù)）基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。微機(jī)電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機(jī)械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號(hào)處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一項(xiàng)革命性的新技術(shù)，廣泛應(yīng)用于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，是一項(xiàng)關(guān)系到國(guó)家的科技發(fā)展、經(jīng)濟(jì)繁榮和國(guó)防安全的關(guān)鍵技術(shù)。MEMS側(cè)重于超精密機(jī)械加工，涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機(jī)械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域。它的學(xué)科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學(xué)、機(jī)械學(xué)的各分支。常

  • ADI:2010年汽車電子會(huì)更關(guān)注安全性?shī)蕵?lè)性

    作為老牌汽車電子廠家，ADI所關(guān)注的技術(shù)一定是未來(lái)所看好的。而在采訪ADI大中華區(qū)汽車電子商務(wù)經(jīng)理李防震時(shí)，記者得知，ADI在2010年會(huì)重點(diǎn)發(fā)展新一代MEMS產(chǎn)品、模擬芯片、高端娛樂(lè)系統(tǒng)中的DSP等一系列產(chǎn)品。而隨著不

  • 全球五大MEMS買家各具特色

    2009年消費(fèi)類電子產(chǎn)品與手機(jī)MEMS部件的最大買家是任天堂。任天堂在提高游戲機(jī)Wii遙控器動(dòng)作識(shí)別精度的附件“WiiMotionPlus”中采用了陀螺儀(角速度傳感器)，使得MEMS購(gòu)買額比上年增加11.9%，超越了前兩年購(gòu)買額一直

  • 不畏ST/ADI強(qiáng)敵　利順精密揮軍MEMS

    憑借微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)與特定應(yīng)用集成電路(ASIC)設(shè)計(jì)專業(yè)，以及MEMS測(cè)試與封裝等技術(shù)優(yōu)勢(shì)，利順精密于日前正式量產(chǎn)首款微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)三軸加速度計(jì)(Accelerometer)，并投入陀螺儀(Gyroscope)與多軸慣性量測(cè)單元(IMU

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    2010-03-25
    ST BSP ADI MEMS

  • 一種90°分布式MEMS 移相器的設(shè)計(jì)

    RF MEMS 移相器具有傳統(tǒng)移相器所無(wú)法比擬的體積小、損耗小、成本低、頻帶寬、易于集成等突出優(yōu)點(diǎn)。通過(guò)在共面波導(dǎo)信號(hào)線上貼敷低介電常數(shù)的薄層絕緣介質(zhì),使得MEMS 金屬橋與共面波導(dǎo)信號(hào)線在“關(guān)”態(tài)下形成MIM 電容的方法,實(shí)現(xiàn)了提高“關(guān)”“開(kāi)”兩種狀態(tài)下的電容比,從而提高了單位長(zhǎng)度上的相移量。在Ka 波段下，建立90°分布式MEMS 移相器的等效電路，并對(duì)其進(jìn)行了仿真優(yōu)化，達(dá)到要求的技術(shù)指標(biāo)。

  • 華新麗華MEMS布局

    華新麗華自2000年即投入微機(jī)電技術(shù)開(kāi)發(fā)，公司致力于集成光源、晶圓級(jí)封裝等技術(shù)，并研發(fā)微型投影、傳感器等產(chǎn)品，目前已取得200件專利技術(shù)。華新麗華旗下的探微科技(Touch Micro-System Tech.)擁有8吋微機(jī)電晶圓制造

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    2010-03-23
    AI 微型 BSP MEMS

  • 3D封裝領(lǐng)域：后進(jìn)入公司成長(zhǎng)空間更大

    “3D封裝領(lǐng)域?qū)ξ覀冞@些后進(jìn)入的公司成長(zhǎng)空間更大?！鄙虾Ｎ㈦娮友b備有限公司市場(chǎng)與關(guān)系客戶部經(jīng)理洪肇棠在SEMICONChina2010展會(huì)上表示。 “從摩爾定律發(fā)展角度來(lái)看，到28nm以下很大可能要走3D的道路，3D封裝要用到

  • 09年全球MEMS市場(chǎng)衰退9%　TI奪回龍頭

    市場(chǎng)研究機(jī)構(gòu)Yole Developpement發(fā)表的最新報(bào)告指出，全球微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)芯片市場(chǎng)在2009年衰退了5%，主要原因是汽車與消費(fèi)性市場(chǎng)的低迷景氣。不過(guò)某些創(chuàng)新的MEMS產(chǎn)品還是取得亮眼的成長(zhǎng)表現(xiàn)，例如InvenSense由臺(tái)積

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    2010-03-18
    組件 BSP MEMS

  • 通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝制造MEMS，西班牙Baolab啟動(dòng)新業(yè)務(wù)

    采用LSI多層布線工藝形成MEMS的驅(qū)動(dòng)部分（下）。數(shù)據(jù)由西班牙Baolab Microsystems, S.L.提供。(點(diǎn)擊放大) 制成的MEMS開(kāi)關(guān)驅(qū)動(dòng)部分。數(shù)據(jù)由西班牙Baolab Microsystems, S.L.提供。(點(diǎn)擊放大) 西班牙Baolab Microsyst

  • MEMS產(chǎn)業(yè)期待發(fā)展的大舞臺(tái)

    “MEMS是一個(gè)古老而年輕的行業(yè)。說(shuō)它古老，是因?yàn)樗Q生已有多年;說(shuō)它年輕，是因?yàn)檫@是一個(gè)新應(yīng)用層出不窮的領(lǐng)域?！北本┐髮W(xué)上海微電子研究院院長(zhǎng)程玉華教授在3月16日的“MEMS的應(yīng)用與機(jī)遇”研討會(huì)上說(shuō)，“MEMS產(chǎn)業(yè)

  • MEMS產(chǎn)業(yè)期待發(fā)展的大舞臺(tái)

    “MEMS是一個(gè)古老而年輕的行業(yè)。說(shuō)它古老，是因?yàn)樗Q生已有多年;說(shuō)它年輕，是因?yàn)檫@是一個(gè)新應(yīng)用層出不窮的領(lǐng)域。”北京大學(xué)上海微電子研究院院長(zhǎng)程玉華教授在3月16日的“MEMS的應(yīng)用與機(jī)遇”研

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    2010-03-17
    微電子 IO MEMS

  • 意法推出LSM320HAY30多軸動(dòng)作傳感器模塊

    胡世萬(wàn) 意法半導(dǎo)體(STMicroelectronics)，推出LSM320HAY30多軸動(dòng)作傳感器模塊，在單一模塊內(nèi)整合一個(gè)3軸數(shù)字加速度計(jì)和一個(gè)2軸模擬陀螺儀。線性和角動(dòng)作傳感器達(dá)成封裝級(jí)整合，可提高應(yīng)用的性能和可靠性，縮減制造成

  • 電子制造占比高，大陸將成最大MEMS制造中心

    SEMI(國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備材料產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì))指出，MEMS(微機(jī)電)以其微型化的結(jié)構(gòu)性發(fā)展優(yōu)勢(shì)，持續(xù)在大陸消費(fèi)性電子、醫(yī)療電子與汽車電子等市場(chǎng)上，發(fā)展出寬闊的應(yīng)用前景；據(jù)該機(jī)構(gòu)統(tǒng)計(jì)，MEMS在3C應(yīng)用領(lǐng)域總量占大陸MEMS整體市

  • 富迪科技發(fā)布新款小型陣列麥克風(fēng)軟件和MEMS麥克風(fēng)集成電路

    【eNet硅谷動(dòng)力消息】富迪科技近日發(fā)布專門面向個(gè)人電腦的小型陣列麥克風(fēng)軟件：SAMSoftG3軟件和MEMS麥克風(fēng)集成電路FL201。 上網(wǎng)本自2008年出現(xiàn)以來(lái)即迅速成為個(gè)人電腦發(fā)展史上增長(zhǎng)速度最快的產(chǎn)品。2009年，英特爾通過(guò)

  • 富迪科技推新款小型陣列麥克風(fēng)軟件和MEMS麥克風(fēng)集成電路

    美國(guó)，加利福尼亞州，桑尼維爾，2010年3月8日 -- 全球領(lǐng)先的陣列麥克風(fēng)解決方案提供商富迪科技近日發(fā)布專門面向個(gè)人電腦的小型陣列麥克風(fēng)軟件：SAMSoft? G3軟件和MEMS麥克風(fēng)集成電路FL201。 上網(wǎng)本自2008年出現(xiàn)以來(lái)即

  • TDK發(fā)布號(hào)稱“全球最小”的數(shù)字MEMS麥克風(fēng)

    TDK的關(guān)聯(lián)公司TDK-EPC發(fā)布了外形尺寸為3.25mm×2.25mm×1.1mm的MEMS麥克風(fēng)“T4030”。該產(chǎn)品將MEMS麥克風(fēng)芯片和負(fù)責(zé)數(shù)字輸出處理等的IC集成在一個(gè)封裝內(nèi)。“在支持?jǐn)?shù)字輸出的MEMS麥克風(fēng)中全球最小。與其他競(jìng)爭(zhēng)公司的

  • 任天堂勇超三星 成消費(fèi)電子與手機(jī)用MEMS最大買家

    據(jù)iSuppli公司，日本任天堂在2009年超越韓國(guó)的三星，成為用于消費(fèi)電子產(chǎn)品和手機(jī)的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的全球最大買家。雖然消費(fèi)者在電子產(chǎn)品上面的支出大幅縮減，但2009年用于消費(fèi)電子產(chǎn)品和手機(jī)的MEMS市場(chǎng)仍然增長(zhǎng)了7

  • 聲學(xué)元件: 全球最小的數(shù)字界面MEMS麥克風(fēng)

    TDK 集團(tuán)的分公司TDK-EPC推出了一款商用MEMS麥克風(fēng)，成為迄今全球最小的、集成了數(shù)字界面的麥克風(fēng)。愛(ài)普科斯T4030的尺寸僅為3.25 × 2.25 × 1.1 mm³，比同類產(chǎn)品小60%。這使手機(jī)、MP3和數(shù)碼相機(jī)等消費(fèi)電子產(chǎn)品

  • 臺(tái)灣微機(jī)電生產(chǎn)鏈成形

    　應(yīng)用在消費(fèi)性電子產(chǎn)品的微機(jī)電組件（MEMS），已成為近來(lái)半導(dǎo)體業(yè)者爭(zhēng)相分食的龐大市場(chǎng)，看好全球MEMS市場(chǎng)成長(zhǎng)性，包括臺(tái)積電（2330）、聯(lián)電（2303）、亞太優(yōu)勢(shì)、意法半導(dǎo)體、日月光（2311）、硅品（2325）、京元

  • 業(yè)界共謀臺(tái)灣MEMS商機(jī)，相關(guān)展覽訂9月登場(chǎng)

    由于看好臺(tái)灣在全球MEMS(微機(jī)電)的市場(chǎng)前景，半導(dǎo)體大廠包括臺(tái)積電(2330)、聯(lián)電(2303)、意法半導(dǎo)體、日月光(2311)、硅品(2325)、京元電(2449)等，共同齊聚于SEMI臺(tái)灣MEMS委員會(huì)商討如何連結(jié)產(chǎn)業(yè)上下游，共同在臺(tái)建立

  • 半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)迎來(lái)春天

    最近一段時(shí)間，半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商又開(kāi)始忙碌起來(lái)，因?yàn)榫眠`了的訂單又開(kāi)始紛至沓來(lái)。SUSS MicroTec公司2010年3月2日宣布，已從安靠公司獲得多種300毫米光刻設(shè)備的后續(xù)訂單。本次設(shè)備采購(gòu)訂單包括MA300 Gen2光刻機(jī)以及