2 單腔微擾測濕系統(tǒng)
    利用單腔微擾測濕系統(tǒng)測量蒸汽濕度的基本思想是基于諧振腔的微擾，即微波諧振腔的諧振頻率隨腔內(nèi)電介質(zhì)的介電常數(shù)的變化而變化，在一定的溫度和壓力下，蒸汽濕度不同，其介電常數(shù)也不同。因此，濕蒸汽流過諧振腔時，通過測量諧振腔中諧振頻率的偏移就可測量蒸汽濕度。諧振頻率的偏移量和介質(zhì)介電常數(shù)的關系為：

   
式中：fo為諧振腔在標準情況下的諧振頻率；△f為諧振腔內(nèi)通入濕蒸汽后相對于f0產(chǎn)生的頻率偏移；εr為介質(zhì)介電常數(shù)。
    由式(1)可知，只要測得諧振腔諧振頻率的偏移量．就可得知濕蒸汽的介電常數(shù)，再根據(jù)介電常數(shù)與蒸汽濕度的關系，求得蒸汽濕度。圖1示出單腔微擾測濕系統(tǒng)框圖。

    系統(tǒng)工作時，諧振腔置于濕蒸汽環(huán)境中，可使?jié)裾羝錆M諧振腔體。壓控振蕩器(VC0)產(chǎn)生的信號經(jīng)過隔離器和3 dB定向耦合器分為兩路信號：一路為進入混頻器信號，與本振信號混頻．產(chǎn)生中頻信號，為信號處理做準備；另一路為由環(huán)形器進入諧振腔的信號，諧振腔的反射信號再經(jīng)環(huán)形器進入頻率跟蹤系統(tǒng)．最終由頻率跟蹤系統(tǒng)反饋給VCO的控制端。調(diào)節(jié)VCO的輸出信號頻率，使其始終與諧振腔的諧振頻率相等。由于進入混頻器與本振信號混頻的是VCO的輸出信號，因此保證VCO的輸出與諧振腔的諧振頻率相等對整個測濕系統(tǒng)的測量精度具有重要意義，即頻率跟蹤系統(tǒng)是整個測量控制系統(tǒng)的重要部分。

3 頻率跟蹤原理
    在測量系統(tǒng)中，VCO的輸出信號為調(diào)頻信號。當VCO的輸出頻率f1輸入到諧振腔時，根據(jù)f1與諧振腔諧振頻率的關系，諧振腔對調(diào)制信號fm的響應有3種情況，如圖2所示。

    圖2中，當f1<f0時，諧振腔的輸出包絡與輸人調(diào)制信號頻率相同、相位相反；當f1>f0時，諧振腔的輸出包絡與輸入調(diào)制信號頻率相同、相位相同；當f1=f0時，諧振腔的輸出為幅度很小的絕對值信號。由上分析可知，對諧振腔輸出信號進行幅度和相位鑒別，即可得f0與f1的關系。因此確定頻率跟蹤系統(tǒng)分別由鑒幅和鑒相兩部分組成。首先，對諧振腔的輸出信號進行幅度鑒別，由于諧振腔諧振時，輸出信號為幅度很小的絕對值信號。可近似為0；諧振腔不發(fā)生諧振時，輸出信號的幅度很大，所以先對諧振腔的輸出進行幅度鑒別，再根據(jù)鑒幅結(jié)果進行相位檢測。

4 頻率跟蹤的實現(xiàn)
4．1 頻率跟蹤硬件設計
    幅度鑒別可通過檢波器、直流放大器及比較器實現(xiàn)；相位鑒別則通過乘法器、低通濾波器、直流放大器以及比較器實現(xiàn)。圖3給出頻率跟蹤系統(tǒng)框圖。圖中兩個比較器的輸出信號用于控制單片機的DACl2模塊，將這兩個輸出信號讀入單片機，使其輸出準確調(diào)節(jié)VCO，從而保證VCO的輸出與諧振腔的諧振頻率保持一致。單片機可以實現(xiàn)頻率跟蹤的智能化。

    在硬件設計中，兩個比較器的參考電壓非常重要。系統(tǒng)中．當諧振腔諧振時反射的微波信號功率約為一9 dBm，反射信號經(jīng)環(huán)形器進入檢波器的功率約為一9．5 dBm，此時檢波器的輸出電壓信號約為150 mV，該信號太小，需對其放大，再進入比較器1。該硬件設計中，直流放大器的倍數(shù)設定為10．因此比較器l的參考電壓設置為1．2 V。用PROTEL軟件對鑒幅部分仿真，當峰值檢波電路的輸入電壓小于1．2 V時，仿真取l V，鑒幅部分的輸出電壓約為200 mV，輸入單片機為0：當峰值檢波電路的輸入電壓大于1．2 V時，仿真取2 V，鑒幅部分的輸出電壓約為5 V，該輸出電壓值取決于與門的直流工作電壓。圖4給出鑒幅仿真結(jié)果。

    在正常工作下，乘法器需要對同相和反相兩種情況作出判斷，所以乘法器有兩種有效輸出。即：

   
    當諧振腔的輸出信號與VCO的輸出信號同相時，乘法器的輸出為正直流電壓和VCO輸出信號的二次諧波；當諧振腔的輸出信號與VCO的輸出信號反相時，乘法器的輸出為負直流電壓和VCO輸出信號的二次諧波，經(jīng)低通濾波后，只剩下正或負直流電壓，因此比較器2的參考電壓可設為0 V。圖5為乘法器輸出仿真。

4．2 頻率跟蹤的軟件設計
    采用MSP430系列16位超低功耗MSP430F157系列單片機。該系列器件是德州儀器公司的超低功耗Flash型16精簡指令位高集成度單片機。其主要特點：①超低功耗。其處理器的功耗為1．8～3．6 V，0．1～400μA，250μA／MI／s；最大線輸出漏電流為50 nA，是業(yè)界最低。②矢量中斷。支持10多個中斷源，并可任意嵌套。③執(zhí)行速度快。一個時鐘周期可執(zhí)行一條指令，傳統(tǒng)的MCS51單片機要12個時鐘周期才可執(zhí)行一條指令。④高性能模擬技術及豐富的片上外圍模塊。這里頻率跟蹤系統(tǒng)主要采用MSP430F157單片機的DACl2模塊。MSP430F157單片機的DACl2_0通道有內(nèi)部參考源發(fā)生器、DACl2核、數(shù)據(jù)及鎖存控制邏輯和輸出電壓緩沖器。其主要特征是具有8位和12位分辨率、內(nèi)部和外部參考電壓、自校驗，以及可直接用存儲器存取等功能。DACl2寄存器包括DACl2_0CTL控制寄存器和DACl2_0DAT數(shù)據(jù)寄存器。前者用于設置DACl2_0輸出。設計中，DACl2選擇為12位分辨率，且滿量程輸出等于參考電壓，DACl2_0數(shù)模轉(zhuǎn)換的關系式為：

   
    硬件實現(xiàn)鑒幅和鑒相；軟件控制實現(xiàn)單片機的輸出電壓。通過比較器1將鑒幅結(jié)果轉(zhuǎn)換為O和1信號．并由P1．3讀入單片機；通過比較器2將鑒相結(jié)果轉(zhuǎn)換為0和1信號，并由P1．4讀入單片機。這兩個信號共同控制DACl2_0以改變VCO的控制電壓，實現(xiàn)頻率跟蹤。DACl2_0的工作過程是：當P1.3讀入值為0時，諧振腔諧振，此時鎖定單片機的輸出電壓；當P1．3讀入值為1時，諧振腔失諧，此時需判斷P1．4的值。當P1．4=0時，增大單片機的輸出電壓，反之。減小單片機的輸出電壓。
    該過程軟件設計代碼為：

    該軟件設計方法可提高頻率調(diào)整速度，減少掃頻時間，從而提高整個系統(tǒng)的實時性，實現(xiàn)跟蹤系統(tǒng)的智能化。

5 結(jié)語
    根據(jù)單腔微擾測濕原理，設計了自動頻率跟蹤系統(tǒng)。該系統(tǒng)可使VCO的輸出頻率與諧振腔的諧振頻率實時保持一致，這對提高整個測濕系統(tǒng)測量精度，保證整個系統(tǒng)的實時性和智能化有著重要價值和意義。