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[導(dǎo)讀]繼臺(tái)積電上周于技術(shù)論壇中廣發(fā)MEMS英雄帖后,中芯MEMS部門(mén)升格為獨(dú)立部門(mén),以展現(xiàn)深耕MEMS市場(chǎng)決心。中芯表示,踏入此市場(chǎng)僅約1年,但預(yù)計(jì)2009年底前,已有3項(xiàng)商品已可進(jìn)入大量投產(chǎn),而市場(chǎng)上每項(xiàng)MEMS產(chǎn)品,中芯至少

臺(tái)積電上周于技術(shù)論壇中廣發(fā)MEMS英雄帖后,中芯MEMS部門(mén)升格為獨(dú)立部門(mén),以展現(xiàn)深耕MEMS市場(chǎng)決心。中芯表示,踏入此市場(chǎng)僅約1年,但預(yù)計(jì)2009年底前,已有3項(xiàng)商品已可進(jìn)入大量投產(chǎn),而市場(chǎng)上每項(xiàng)MEMS產(chǎn)品,中芯至少都有1個(gè)客戶(hù),因此對(duì)中芯來(lái)說(shuō),MEMS成長(zhǎng)潛力值得期待。

臺(tái)積電于上周舉辦技術(shù)論壇中對(duì)于MEMS市場(chǎng)相當(dāng)看好,指出進(jìn)入MEMS市場(chǎng)到現(xiàn)在為止已有7年,當(dāng)中已累計(jì)出多項(xiàng)制程及IP技術(shù),除此之外,臺(tái)積電更已可提供標(biāo)準(zhǔn)制程(StandardProcess),讓MEMS客戶(hù)可安心至臺(tái)積電投片,因此特地于技術(shù)論壇中廣發(fā)英雄帖,吸引各類(lèi)MEMS公司下單。

為了不讓臺(tái)積電在MEMS專(zhuān)美于前,中芯近期特別將MEMS升格為獨(dú)立部門(mén),附屬在中芯SoC技術(shù)發(fā)展中心下,而該部門(mén)主管將由一位資深廠(chǎng)長(zhǎng)領(lǐng)軍。

中芯表示,中芯采用成都8吋晶圓廠(chǎng)投產(chǎn)MEMS,目前為止已有1家歐洲及1家大陸MEMS客戶(hù)進(jìn)入量產(chǎn)階段,市場(chǎng)人士猜測(cè)歐洲客戶(hù)可能是意法半導(dǎo)體(STM),中芯進(jìn)一步表示,不僅如此,現(xiàn)階段中芯更已與多家MEMS客戶(hù),共同在MEMS制程上研發(fā),估計(jì)1~2年內(nèi)將可望陸續(xù)開(kāi)花結(jié)果。

中芯采取的制造流程則與臺(tái)積電相同,希望MEMS與CMOS芯片于制造過(guò)程中,?懦}愈遠(yuǎn)愈好,原因是如硬將?琱ㄕP種類(lèi)芯片擺在一起,到最后除容易出現(xiàn)干擾問(wèn)題外,因CMOS芯片要求愈來(lái)愈小,但MEMS芯片卻無(wú)法同步縮小,恐出現(xiàn)頭大身小的現(xiàn)象。

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