愛發(fā)科在730mm×920mm的大尺寸底板整個表面上制成了多個In-Ga-Zn-O（IGZO）透明非結(jié)晶氧化物半導體TFT（IGZO-TFT），并獲得了出色的晶體管特性。該底板由多個硅底板構(gòu)成，尺寸與第4代玻璃底板相當。愛發(fā)科今后還計劃“確立一項新技術(shù)，即在相當于第8代以后玻璃底板的2000mm見方以上的底板上形成IGZO-TFT”。該公司在第57屆應(yīng)用物理學相關(guān)聯(lián)合演講會（東海大學湘南校區(qū)，2010年3月17～20日）上公布了此次的成果（演講序號：17a-TL-5）。
愛發(fā)科此次在730mm×920mm底板的整個表面制成了6～25個IGZO-TFT，并測量了這些TFT的特性。制成的IGZO-TFT的柵長為0.1mm，柵寬為1mm，構(gòu)成材料方面，通道采用IGZO，柵極絕緣膜采用SiO2，源漏電極采用Al。IGZO通道成膜時采用了該公司此前用于大尺寸玻璃底板成膜的AC（交流）濺射法。IGZO成膜后，在400℃條件下進行15分鐘的退火處理。
驗證結(jié)果顯示，底板上的任何位置都可獲得出色的TFT特性。平均特性方面，載流子遷移率為7cm2/Vs，亞閾值（S值）為0.15mV/十位，導通/截止比為10。此外，愛發(fā)科還表示，IGZO成膜時采用的AC濺射法的經(jīng)時穩(wěn)定性較高。據(jù)介紹，在同一靶材上堆積180μm厚IGZO膜前后，制成的IGZO-TFT的特性并沒有很大變化。另外，此次用于AC濺射法的靶材由愛發(fā)科內(nèi)部制造。
愛發(fā)科今后還考慮以支持更大尺寸的底板為目標，在改進AC濺射法及活性氣體導入法的同時，還將確立大尺寸靶材的制造方法。（記者：大下 淳一）
下載文檔基于強大的產(chǎn)業(yè)互聯(lián)網(wǎng)能力，世強硬創(chuàng)可以實現(xiàn)售前商品介紹、售中交易、售后服務(wù)的全流程新產(chǎn)品新技術(shù)推廣營銷，將半導體公司的新產(chǎn)品推廣有效率提高百倍。
關(guān)鍵字： 世強硬創(chuàng) 半導體 產(chǎn)業(yè)互聯(lián)網(wǎng)據(jù)業(yè)內(nèi)消息，在剛剛過去的9月份，半導體行業(yè)的交貨期平均為26.3周，相比于上個月的27周縮短了4天，這是近年來交貨周期最大的降幅，充分表明了半導體產(chǎn)業(yè)供應(yīng)危機正在緩解。
關(guān)鍵字： 半導體
熱門文章
- 國產(chǎn)GPU第一股摩爾線程終于來了：12月5日上市 市值537億
- 1.2億天價罰單！全球第三大設(shè)備商因臺積電2nm泄密案被起訴
- 科技巨頭集體預警：內(nèi)存價格將大幅上漲！
- 基于PLC的焊點檢測隔離機的電控設(shè)計
- 盤點GET 和 POST請求的本質(zhì)區(qū)別
- CAN收發(fā)器
- CAN的數(shù)據(jù)幀
- 荷蘭安世仍未向中國供應(yīng)晶圓 全球汽車產(chǎn)線幾周內(nèi)或?qū)⑼．a(chǎn)
- 終止一切對華采購！美國汽車巨頭要求數(shù)千供應(yīng)商“斷華”！
- AI 史詩三幕?。杭軜?gòu)師搭臺、協(xié)調(diào)者唱戲、哨兵守夜——Gartner 2026 十大戰(zhàn)略技術(shù)趨勢全景解碼
編輯精選
論壇活動
論壇熱帖
- 【每周分享】程序員真的逃不過35歲被裁的坎嗎？
- 【每周分享】公司已經(jīng)裁掉我了，還在繼續(xù)安排大量工作給我，這合適嗎？
- 【每周分享】努力、運氣、選擇，哪一個更重要？
- CW32L012固件庫發(fā)現(xiàn)兩處問題
- CW32L011休眠模式 偶發(fā)無法喚醒
- gd32f4 中斷影響adc采樣怎么解決
- GD32F303定時器捕獲頻率出現(xiàn)問題
- 用PMOS做開關(guān)的電路，開關(guān)按下PMOS導通，電路為啥不行呢
- APM32F407備份SRAM VBAT測試避坑指南：從誤判到精準檢測
- 極海的APM32F425和APM32F427到底有什么區(qū)別？
