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[導(dǎo)讀]臺積電與轉(zhuǎn)投資的設(shè)備商Mapper共同宣布,Mapper安裝在臺積電12吋廠Fab12中的原型機(jī)臺正不斷地重復(fù)寫出超威小電路組件,系先前使用浸潤式微影技術(shù)(immersion)所無法達(dá)到的成果。事實(shí)上,臺積電與Mapper合作多重電子

臺積電與轉(zhuǎn)投資的設(shè)備商Mapper共同宣布,Mapper安裝在臺積電12吋廠Fab12中的原型機(jī)臺正不斷地重復(fù)寫出超威小電路組件,系先前使用浸潤式微影技術(shù)(immersion)所無法達(dá)到的成果。事實(shí)上,臺積電與Mapper合作多重電子束的無光罩(maskless)技術(shù),主要用在22奈米微影技術(shù)研發(fā)上,市場認(rèn)為臺積電在22奈米制程研發(fā)已明顯領(lǐng)先同業(yè),多重電子束亦將成為未來微影技術(shù)的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)之一。

臺積電與荷蘭設(shè)備商Mapper在2008年底宣布簽署協(xié)議,依此協(xié)議Mapper將會出貨第一臺12吋無光罩多重電子束微影設(shè)備給臺積電,作為制程開發(fā)與組件試制之用。此設(shè)備讓臺積電進(jìn)一步探索在22奈米及更先進(jìn)制程中,以多重電子束無光罩技術(shù),當(dāng)作微影技術(shù)選項(xiàng)之一的機(jī)會。而經(jīng)過一年余的研發(fā),兩家公司宣布已有具體成果。

臺積電研究發(fā)展資深副總經(jīng)理蔣尚義表示,臺積電在制程上一直不斷尋求最具成本效益的做法,而使用Mapper公司機(jī)臺所得到的成果,不僅符合此一目的,也是多重電子束直寫入項(xiàng)目中的一項(xiàng)重大成就,此項(xiàng)目涵括所有可行的多重電子束技術(shù),相信多重電子束技術(shù)將成為未來微影技術(shù)的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)之一。



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