德國(guó)Carl Zeiss SMT AG已向半導(dǎo)體設(shè)備商ASML出貨首臺(tái)EUV光學(xué)系統(tǒng)。該公司已使EUV光學(xué)系統(tǒng)達(dá)到了生產(chǎn)要求。
光學(xué)系統(tǒng)是EUV設(shè)備的核心模塊,首臺(tái)EUV設(shè)備預(yù)計(jì)將在2010年出貨。幾周前,美國(guó)公司Cymer完成了EUV光源的開發(fā),EUV光源是EUV光刻設(shè)備另一個(gè)關(guān)鍵模塊。該技術(shù)將使芯片制造商進(jìn)一步縮小芯片的特征尺寸,提高生產(chǎn)效率。
據(jù)Carl Zeiss 介紹,目前出貨的光學(xué)系統(tǒng)已經(jīng)研發(fā)了約15年。
據(jù)業(yè)內(nèi)消息,昨天半導(dǎo)體光刻機(jī)供應(yīng)商荷蘭ASML公司發(fā)布了今年Q3季度的財(cái)報(bào)數(shù)據(jù), 其中銷售額和利潤(rùn)均好于預(yù)期,凈預(yù)訂數(shù)據(jù)更是創(chuàng)新紀(jì)錄。
關(guān)鍵字: ASML據(jù)彭博社2月9日的消息,荷蘭光刻機(jī)巨頭阿斯麥(ASML)警告稱,一家此前被指控竊取其商業(yè)機(jī)密的中國(guó)公司的關(guān)聯(lián)公司已開始銷售疑似侵犯其知識(shí)產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品。
關(guān)鍵字: ASML 光刻機(jī) 知識(shí)產(chǎn)權(quán)