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[導(dǎo)讀]德國(guó)Carl Zeiss SMT AG已向半導(dǎo)體設(shè)備商ASML出貨首臺(tái)EUV光學(xué)系統(tǒng)。該公司已使EUV光學(xué)系統(tǒng)達(dá)到了生產(chǎn)要求。光學(xué)系統(tǒng)是EUV設(shè)備的核心模塊,首臺(tái)EUV設(shè)備預(yù)計(jì)將在2010年出貨。幾周前,美國(guó)公司Cymer完成了EUV光源的開發(fā),

德國(guó)Carl Zeiss SMT AG已向半導(dǎo)體設(shè)備商ASML出貨首臺(tái)EUV光學(xué)系統(tǒng)。該公司已使EUV光學(xué)系統(tǒng)達(dá)到了生產(chǎn)要求。

光學(xué)系統(tǒng)是EUV設(shè)備的核心模塊,首臺(tái)EUV設(shè)備預(yù)計(jì)將在2010年出貨。幾周前,美國(guó)公司Cymer完成了EUV光源的開發(fā),EUV光源是EUV光刻設(shè)備另一個(gè)關(guān)鍵模塊。該技術(shù)將使芯片制造商進(jìn)一步縮小芯片的特征尺寸,提高生產(chǎn)效率。

據(jù)Carl Zeiss 介紹,目前出貨的光學(xué)系統(tǒng)已經(jīng)研發(fā)了約15年。

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