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[導(dǎo)讀]據(jù)中芯國際集成電路制造有限公司資深研發(fā)副總季明華撰文披露,2010年,中芯國際將加強(qiáng)65納米的嵌入式工藝平臺(tái)和32納米關(guān)鍵模塊的研發(fā);同時(shí)力爭實(shí) 現(xiàn)45納米和40納米技術(shù)的小批量試產(chǎn)。在第四屆(2009年度)中國半導(dǎo)體創(chuàng)

據(jù)中芯國際集成電路制造有限公司資深研發(fā)副總季明華撰文披露,2010年,中芯國際將加強(qiáng)65納米嵌入式工藝平臺(tái)和32納米關(guān)鍵模塊的研發(fā);同時(shí)力爭實(shí) 現(xiàn)45納米和40納米技術(shù)的小批量試產(chǎn)。

在第四屆(2009年度)中國半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)評(píng)選中,中芯國際有兩項(xiàng)技術(shù)獲獎(jiǎng),其一是 “65納米邏輯集成電路制造工藝技術(shù)”,其二是“0.11微米CMOS圖像傳感器工藝技術(shù)”。

據(jù)介紹,目前,中芯國際已經(jīng)完成了65納米CMOS技術(shù)的認(rèn)證,并于2009年第三季度開始在北京廠小批量試產(chǎn)。中芯國際65納米技術(shù)前段采用的是應(yīng)力工程(即硅應(yīng)變技術(shù))和鎳硅合金(柵極)工藝,后段采用的是低介電常數(shù)(low-k)銅互連工藝。中芯國際還將繼續(xù)在65納米技術(shù)節(jié)點(diǎn)上拓展更多的技術(shù)種類。

在65納米技術(shù)節(jié)點(diǎn)上,CMOS器件的電學(xué)參數(shù)更難以控制,為此,中芯國際引入了DFM(可制造性設(shè)計(jì)),這樣不但提高了設(shè)計(jì)服務(wù)的能力,而且拓寬了IP庫。中芯國際和國內(nèi)的設(shè)計(jì)公司協(xié)作,不僅研發(fā)出了通用的IP,而且為中國市場(chǎng)開發(fā)出定制的IP。

0.11微米圖像傳感器技術(shù)是中芯國際和相關(guān)設(shè)計(jì)公司合作開發(fā)的、具有國際先進(jìn)水平的集成電路制造技術(shù)。該技術(shù)結(jié)合并優(yōu)化了動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器及邏輯工藝,優(yōu)化了像素設(shè)計(jì),形成了一個(gè)通用的工藝平臺(tái),可以服務(wù)于從30萬到300萬像素的產(chǎn)品。中芯國際的0.11微米CMOS圖像傳感器技術(shù)不僅提供更高像素的圖像,而且其數(shù)字信號(hào)處理的能力更強(qiáng),該技術(shù)可以滿足手機(jī)和圖像傳感器應(yīng)用的所有需要。中芯國際的此項(xiàng)工藝完全自主研發(fā),所用的工藝步驟優(yōu)于國外同行,有著明顯的成本優(yōu)勢(shì),其結(jié)構(gòu)、技術(shù)水平和光學(xué)性能都達(dá)到了國際先進(jìn)水平。

2010年對(duì)于中芯國際來講是非常重要的一年,因?yàn)槲覀円瓿梢幌盗械睦锍瘫降娜蝿?wù):45/40納米的邏輯工藝平臺(tái)要為試生產(chǎn)做好準(zhǔn)備,要增強(qiáng)65和40納米節(jié)點(diǎn)上的IP等等。所有這些技術(shù)創(chuàng)新都會(huì)增強(qiáng)中芯國際的芯片制造能力、IP能力、設(shè)計(jì)服務(wù)能力,最終一定會(huì)增強(qiáng)公司的贏利能力。

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