昭和電工日前宣布確立了6英寸SiC外延晶圓的量產(chǎn)化技術(shù)。該公司從2013年年初就開(kāi)始提供該晶圓的樣品，此次確立了量產(chǎn)化技術(shù)，從10月份開(kāi)始設(shè)定產(chǎn)品性能參數(shù)、正式展開(kāi)銷售。

據(jù)介紹，6英寸產(chǎn)品適于降低元件成本，也適合量產(chǎn)載流量達(dá)到100A的SiC元件，通過(guò)此次的產(chǎn)品，預(yù)計(jì)SiC元件將被大量用于純電動(dòng)汽車和混合動(dòng)力車。而且，昭和電工此次還宣布，在4英寸產(chǎn)品中開(kāi)發(fā)出了缺陷率更低、均勻性更高的新級(jí)別產(chǎn)品。該4英寸產(chǎn)品也將從2013年10月開(kāi)始銷售。

今后，昭和電工將進(jìn)一步提高產(chǎn)品質(zhì)量、增強(qiáng)產(chǎn)能。2014年上半年將把目前按4英寸產(chǎn)品換算為1500塊的月產(chǎn)能提高至2500塊，從而推動(dòng)SiC功率半導(dǎo)體的普及。