[導讀]旭硝子日前宣布，將正式進軍生產TFT液晶LCD時使用的大型光罩用石英基板市場。該公司表示
已開發(fā)出純度可達99.9999999％，成本卻較傳統(tǒng)產品低廉1～2成的生產技術。今后將針對需求
可望逐漸擴大的第7代與第8代生產
旭硝子日前宣布，將正式進軍生產TFT液晶LCD時使用的大型光罩用石英基板市場。該公司表示
已開發(fā)出純度可達99.9999999％，成本卻較傳統(tǒng)產品低廉1～2成的生產技術。今后將針對需求
可望逐漸擴大的第7代與第8代生產線用途積極推展銷售業(yè)務，希望能于2014年達成市占率20％
、營收30億日圓的目標。
該公司表示，生產業(yè)務將由位于日本福島縣的子公司AGC Electronics負責，預定于2011年正
式投產。由于可改良現(xiàn)有生產設備，因此無須追加設備投資。為了提升石英的生成速度，縮減
生產周期，旭硝子采用低溫制程、不純物質較難混入的「間接方式」，并透過技術改良，使產
品可支援至第10代生產線以上。而競爭廠商則多半采用高溫的「直接方式」。
光罩主要用于圖案轉換（patterning）制程，將電路圖案轉印制電晶體上。由于電路圖案十分
精密，因此需要沒有損傷、氣泡或歪斜的高品質、高純度基板。
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