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[導(dǎo)讀]進(jìn)階之路三步走。

中美“芯片之爭”越來越激烈。美國泛化國家安全概念,濫用國家力量,以技術(shù)封鎖、列實(shí)體清單打壓中國企業(yè)、為投資設(shè)障等手段,封堵中國高新技術(shù)發(fā)展。
中國積極推進(jìn)半導(dǎo)體的國產(chǎn)化來予以抗衡,但在國產(chǎn)化前進(jìn)的路上,半導(dǎo)體制造設(shè)備已成為難以跨越的高墻。半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)正在被卷入激烈的“芯戰(zhàn)”漩渦。
半導(dǎo)體設(shè)備一直以來被譽(yù)為產(chǎn)業(yè)鏈皇冠上的明珠。這還不夠形象,因?yàn)槊髦椴鸬?,皇冠還是皇冠,設(shè)備去掉,芯片就出不來了。
芯片制造和芯片封測過程非常復(fù)雜,加工工序達(dá)到上千道,必須要靠設(shè)備才能完成。可以說,沒有設(shè)備,芯片就只能停留在設(shè)計(jì)圖紙上。 半導(dǎo)體設(shè)備又可以分為測試設(shè)備晶圓加工設(shè)備,在半導(dǎo)體設(shè)備市場中,晶圓加工設(shè)備是大頭,市場價(jià)值占比為81%,測試設(shè)備市場價(jià)值僅占19%。半導(dǎo)體設(shè)備價(jià)格高昂,在新建晶圓廠支出中比例中就能達(dá)到65%,剩余的百分之35%中,廠房建設(shè)占20%,組裝封裝設(shè)備占5%,測試設(shè)備占7%,其他占3%。
以一條12寸晶圓生產(chǎn)線為例,月產(chǎn)5萬片,至少要投資30-50億美元,需要配套 50臺光刻機(jī),10臺離子注入機(jī),40臺蝕刻機(jī),30臺薄膜沉積設(shè)備等,各類設(shè)備合計(jì)臺數(shù)超過500個(gè)。
全球最大半導(dǎo)體設(shè)備市場:中國
中國半導(dǎo)體設(shè)備市場占據(jù)全球半導(dǎo)體設(shè)備市場一半的份額。
據(jù)SEMI全球半導(dǎo)體設(shè)備市場統(tǒng)計(jì)報(bào)告,2020年全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額達(dá)712億美元,同比增長19%,中國大陸首次成為全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備市場,銷售額達(dá)187.2億美元,同比大增39%,中國臺灣排名第二,銷售額為171.5億美元。 單位:billion.
買得多不代表賣得多。中國雖是全球最大的設(shè)備市場,但中國大陸本土企業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備銷售額不高。 中國電子專業(yè)設(shè)備工業(yè)協(xié)會對中國大陸47家主要半導(dǎo)體設(shè)備制造商的統(tǒng)計(jì)結(jié)果顯示,2019年半導(dǎo)體設(shè)備銷售收入161.82億元,預(yù)計(jì)2020年國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備銷售收入將達(dá)到213億元左右,市場占有率將達(dá)到20%左右,但由于統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)中包括了100 元左右的太陽能電池片設(shè)備和20 億元左右的LED 設(shè)備,剩下的90億元才是集成電路設(shè)備的銷售額。 而SEMI統(tǒng)計(jì)的數(shù)據(jù)項(xiàng)目則是集成電路和分立器件的制造和封裝設(shè)備等。 也就是說,國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備在大陸市場的份額還不足10%,國內(nèi)絕大部分的半導(dǎo)體設(shè)備靠進(jìn)口。
海外寡頭壟斷
半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)是一個(gè)費(fèi)錢、技術(shù)要求高的行業(yè)。高資本高技術(shù)壁壘的行業(yè)屬性使得半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)呈現(xiàn)出寡頭壟斷的局面。
據(jù)VLSI Reserch 機(jī)構(gòu)2019年發(fā)布的數(shù)據(jù),全球近80%的半導(dǎo)體設(shè)備市場份額被十大設(shè)備生產(chǎn)商瓜分。不得不提的是,這些設(shè)備制造廠商幾乎都是來自日美歐韓等地區(qū),無一家來自中國。
光刻機(jī)領(lǐng)域中,全球光刻機(jī)市場幾乎ASML、CanonNikon三家供應(yīng)商包了。全球最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)由ASML公司生產(chǎn),工藝制程達(dá)到了5nm甚至更低的工藝。 國內(nèi)光刻機(jī)唯一實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)的制造商上海微電子,目前與ASML差距巨大,所生產(chǎn)的光刻機(jī),性能最好的工藝也才達(dá)到90nm的制程。但最近上海微電子在光刻機(jī)上取得了突破性的進(jìn)步,據(jù)界面新聞報(bào)道,上海微電子將在2021-2022年交付第一臺28nm工藝的沉浸式光刻機(jī),一舉從90nm工藝飛躍式跳到了28nm工藝。光刻機(jī)實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代未來可期。


來源:前瞻產(chǎn)業(yè)研究
刻蝕設(shè)備領(lǐng)域常見的身影是海外三家巨頭:泛林半導(dǎo)體、TEL、應(yīng)用材料。這三家憑借著資本技術(shù)的實(shí)力,包攬了全球90%刻蝕設(shè)備市場份額,泛林半導(dǎo)體一家就占領(lǐng)了全球刻蝕設(shè)備50%的市場。 近年來,中國刻蝕設(shè)備生產(chǎn)商中微半導(dǎo)體北方華創(chuàng)等,正在發(fā)力攻克更高階制程的刻蝕工藝。國內(nèi)刻蝕設(shè)備領(lǐng)先企業(yè)中微半導(dǎo)體在介質(zhì)刻蝕設(shè)備已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了65-5nm的刻蝕工藝。
來源:前瞻產(chǎn)業(yè)研究
TEL應(yīng)用材料這兩家設(shè)備巨頭,在薄膜沉積設(shè)備領(lǐng)域?qū)嵙σ膊蝗菪∮U。 薄膜沉積設(shè)備分為ALD、PVDCVD三個(gè)細(xì)分領(lǐng)域。在ALD設(shè)備市場中,龍頭企業(yè)TEL和ASM分別占據(jù)了31%29%的全球市場份額;PVD廠商僅應(yīng)用材料一家就占了85%的比重,稱霸市場,處于絕對龍頭位置。CVD三大廠商中,應(yīng)用材料全球占比30%左右,泛林半導(dǎo)體占比大約是21%,TEL占比為19%,三家全球占比共計(jì)70%。 在國內(nèi),薄膜沉積設(shè)備龍頭北方華創(chuàng)產(chǎn)線覆蓋最全,包括ALE、PVD、CVD三類;而沈陽拓荊則集中精力攻克CVD和ALD。這兩家企業(yè)目前儲備技術(shù)達(dá)到了8/14nm節(jié)點(diǎn)。
來源:前瞻產(chǎn)業(yè)研究
清洗設(shè)備市場幾乎被五家巨頭Screen、TEL、Lam Research、SEMES拉姆研究壟斷,根據(jù)Gartner數(shù)據(jù)顯示,2018年全球排名前四的企業(yè)合計(jì)占據(jù)約98%的市場份額。
相比之下,中國能制造生產(chǎn)清洗設(shè)備的企業(yè)市場份額少之又少,主要的廠商有盛美股份、北方華創(chuàng)、芯源微至純科技,其中盛美股份在國產(chǎn)清洗設(shè)備供應(yīng)商中排名最靠前,在芯片和集成電路制造廠商長江存儲、華虹無錫、上海華二期項(xiàng)目累計(jì)采購的200多臺清洗設(shè)備中,盛美股份以20.5%的中標(biāo)份額超越了LAM、TEL以及北方華創(chuàng)的中標(biāo)份額。不止是銷售業(yè)績好看,盛美股份清洗設(shè)備技術(shù)也走在國產(chǎn)清洗設(shè)備行業(yè)前列。來源:前瞻產(chǎn)業(yè)研究
國外龍頭企業(yè)壟斷,封裝設(shè)備也不例外,國產(chǎn)化程度尚不高。從企業(yè)競爭格局來看,目前全球半導(dǎo)體測試設(shè)備產(chǎn)業(yè)主要呈現(xiàn)美商Teradyne、日商AdvantestTEL等國際企業(yè)壟斷的局面。
根據(jù)VLSI數(shù)據(jù),半導(dǎo)體設(shè)備中封裝設(shè)備約占7%,從SEMI全球半導(dǎo)體設(shè)備市場統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)來計(jì)算,估計(jì)2020年全球半導(dǎo)體封裝設(shè)備銷售額達(dá)50億美元左右,而中國大陸半導(dǎo)體封測設(shè)備規(guī)模約為13.1億元。
落后的根源
大者恒大,半導(dǎo)體設(shè)備全球市場基本被國外龍頭壟斷,國產(chǎn)設(shè)備商正在奮起追趕,但是,能不能追趕得上,什么時(shí)候追趕得上,這些又成為了國人最關(guān)心的問題。想要得到答案,窺得其中的未來,就要知己知彼,才能百戰(zhàn)不殆。 一、資金投入有限,人才短缺
前面說到半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)是資本技術(shù)密集型。沒有雄厚的研發(fā)資金投入,沒有大量的高技術(shù)人才,就難以實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的迭代更新。
近年來,國內(nèi)設(shè)備企業(yè)雖取得了很大的進(jìn)步,實(shí)現(xiàn)了從0到1的突破,但從整個(gè)設(shè)備行業(yè)來看,研發(fā)投入的資金還相對較低,研發(fā)投入難以實(shí)現(xiàn)規(guī)模效應(yīng)。隨著摩爾定律的演進(jìn),設(shè)備研發(fā)投入的資金也要跟上,國外龍頭企業(yè)資本雄厚,優(yōu)勢盡占。
另外,在技術(shù)人才上,也存在各種問題。《中國集成電路產(chǎn)業(yè)人才白皮書(2019—2020年版)》指出,我國集成電路產(chǎn)業(yè)存在的問題:
1、我國領(lǐng)軍和高端人才緊缺,對人才吸引力不足;2、我國人才培養(yǎng)師資和實(shí)訓(xùn)條件支撐不足,產(chǎn)教融合有待增強(qiáng);3、我國集成電路企業(yè)間挖角現(xiàn)象普遍,導(dǎo)致人才流動頻繁;4、我國對智力資本的重視程度不足,科研人員活力有待激發(fā)。 二、產(chǎn)業(yè)鏈配套不完善
在半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)中,企業(yè)制造地分散,出貨量上不足形成規(guī)模效應(yīng),對零部件的拉動力度小時(shí)間短,整體的產(chǎn)業(yè)配套能力薄弱,設(shè)備生產(chǎn)效率難以提高,導(dǎo)致制造成本偏高,難達(dá)到廠商預(yù)期。高成本低收益又進(jìn)一步阻礙了產(chǎn)業(yè)的良性發(fā)展,形成了閉合的惡性循環(huán)回路。 三、國外技術(shù)封鎖,限制出口
以美國為首的歐美日韓聯(lián)盟,為保持其在半導(dǎo)體領(lǐng)先的地位,限制中國在半導(dǎo)體領(lǐng)域的崛起,正在設(shè)法阻止中國半導(dǎo)體的發(fā)展,在半導(dǎo)體設(shè)備、材料、高端設(shè)計(jì)和先進(jìn)工藝等領(lǐng)域設(shè)限。
中芯國際為例,去年美國就將其列入實(shí)體清單,限制其購買美國廠商的設(shè)備和技術(shù),由于芯片缺貨潮的影響,美國給中芯國際的限制開了一個(gè)口,但對用于10nm及以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)(包括EUV極紫外光刻技術(shù))的產(chǎn)品或技術(shù)仍然是嚴(yán)格限制。
技術(shù)設(shè)備材料等限制,嚴(yán)重“卡脖子”了。從目前中美形勢來看,這種限制將繼續(xù)存在,對中國半導(dǎo)體發(fā)展影響深遠(yuǎn)。 四、上下游產(chǎn)業(yè)鏈的緊密度難破
產(chǎn)業(yè)鏈上下游的合作關(guān)系緊密,表現(xiàn)在晶圓制造廠不輕易更換設(shè)備廠商。一方面是因?yàn)橘徺I的設(shè)備很貴,對于嶄露頭角的新技術(shù)設(shè)備不經(jīng)過認(rèn)證不會輕易使用,這造成的良率下降和工藝失效帶來的損失遠(yuǎn)高于換設(shè)備省下來的錢。另一方面是,晶圓廠不僅要承擔(dān)晶圓原材料損失的成本,還要面臨著后續(xù)交期耽誤所帶來的高額賠償?shù)葥p失。
因此,國產(chǎn)替代新設(shè)備就難以大面積推開,龍頭企業(yè)地位反而得到進(jìn)一步鞏固。
如何跨越高墻?
半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈的問題突出,新晉企業(yè)想要打破龍頭企業(yè)的壟斷格局,有行業(yè)人士提出,要滿足三個(gè)基本條件:
1. 首先要實(shí)現(xiàn)高難度的技術(shù)突破;2. 實(shí)現(xiàn)突破的情況下盡力節(jié)省研發(fā)支出;3. 最重要的是獲得晶圓廠客戶的大膽使用和客戶驗(yàn)證。 但這三個(gè)條件還不夠具體。技術(shù)的突破也就是人才的突破,2020年以來,中國正加鞭快馬在籌備和建設(shè)集成電路相關(guān)學(xué)院,為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)源源不斷輸送人才。
例如2020年10月,南京江北新區(qū)聯(lián)合企業(yè)、高校等共同成立了南京集成電路大學(xué),這是國內(nèi)首個(gè)“芯片大學(xué)”以面向產(chǎn)業(yè)人才為定位,解決當(dāng)前集成電路人才培養(yǎng)難點(diǎn),促進(jìn)地方產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
今年4月22日,清華大學(xué)宣布成立集成電路學(xué)院,瞄準(zhǔn)集成電路“卡”脖子難題,培養(yǎng)國家急需人才。
兩家學(xué)院相繼成立,表明了國家對集成電路行業(yè)的重視和解決半導(dǎo)體中“卡脖子”難題的決心。 筆者認(rèn)為,研發(fā)開支的節(jié)省難以為半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)注入活力。
技術(shù)的研發(fā)本身就要大筆大筆的資金投入,想著怎么省錢,不如想著怎么來錢。這里說的來錢是指企業(yè)通過引進(jìn)投資等方式補(bǔ)足產(chǎn)業(yè)的研發(fā)和規(guī)模的擴(kuò)大,規(guī)模擴(kuò)大實(shí)現(xiàn)高利潤收入,進(jìn)而推動企業(yè)高比例的研發(fā)投入。
但是,資本市場是自由和逐利的,在投資高、風(fēng)險(xiǎn)大、收益冒險(xiǎn)的半導(dǎo)體設(shè)備市場中,要獲得足夠的研發(fā)資金也不容易。
因此,國家大基金的重要程度不言而喻,不僅給企業(yè)一顆定心丸,不會隨便撤資或資本不持續(xù),也能集中資本力量辦大事,按照規(guī)劃來解決“卡脖子”領(lǐng)域。 最后,就是客戶能否大膽使用和客戶驗(yàn)證的問題了。部分國內(nèi)龍頭設(shè)備廠商已有穩(wěn)定的客戶群體,基本上能實(shí)現(xiàn)客戶驗(yàn)證這個(gè)步驟,但一些缺乏忠實(shí)用戶的小企業(yè)來說,恐怕是難以獲得客戶的試用,生存空間極小,因此在這條荊棘布滿的路上,上中下游的互相支持顯得格外重要,進(jìn)一步來說,這對企業(yè)都是雙贏的選擇。
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