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MEMS

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微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS， Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機(jī)電系統(tǒng)其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級，是一個獨(dú)立的智能系統(tǒng)。微機(jī)電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)（半導(dǎo)體制造技術(shù)）基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。微機(jī)電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機(jī)械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一項(xiàng)革命性的新技術(shù)，廣泛應(yīng)用于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，是一項(xiàng)關(guān)系到國家的科技發(fā)展、經(jīng)濟(jì)繁榮和國防安全的關(guān)鍵技術(shù)。MEMS側(cè)重于超精密機(jī)械加工，涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機(jī)械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域。它的學(xué)科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學(xué)、機(jī)械學(xué)的各分支。常

  • 意法半導(dǎo)體上市“小型低功耗”MEMS麥克風(fēng)

    “小型低功耗”MEMS麥克風(fēng)（點(diǎn)擊放大） 意法合資公司意法半導(dǎo)體（STMicroelectronics）上市了兩款以小型低功耗為特點(diǎn)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）麥克風(fēng)（英文發(fā)布資料）。一款是封裝在外形尺寸為3mm×4mm×1mm的4端子RH

  • 研究人員發(fā)明微機(jī)械加工壓電MEMS提升振動能量采集效率

    密歇根大學(xué)(University of Michigan)的工程師稱發(fā)明了一種針對壓電MEMS的微機(jī)械加工技術(shù)，可使傳統(tǒng)能源收集器收集的能量增加10倍以上。這個研究小組表示，一個硬幣大小的壓電MEMS就可以收集足夠驅(qū)動植入人體內(nèi)的醫(yī)療

  • ST推出全新MEMS麥克風(fēng) 提升手機(jī)和便攜電腦用戶的音頻體驗(yàn)

    橫跨多重電子應(yīng)用領(lǐng)域、全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體制造商及全球第一大消費(fèi)電子和便攜式應(yīng)用MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）元器件供應(yīng)商意法半導(dǎo)體[1]（STMicroelectronics，簡稱ST；紐約證券交易所代碼：STM）推出兩款全新數(shù)字MEMS麥克風(fēng)

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    2011-04-29
    電腦 音頻 MEMS

  • ST推出新款數(shù)字MEMS麥克風(fēng)MP34DB01和MP45DT02

    　全球半導(dǎo)體領(lǐng)導(dǎo)者，為各種電子應(yīng)用領(lǐng)域的MEMS和領(lǐng)先供應(yīng)商的消費(fèi)和便攜式應(yīng)用(微機(jī)電系統(tǒng))的客戶，ST今天推出兩款新的數(shù)字MEMS麥克風(fēng)。結(jié)合耐用性和可靠性出眾的聲音在降低成本的大小和質(zhì)量，ST的MP34DB01和MP45DT

  • MEMS是否真的會走上CMOS的演進(jìn)路線

    MEMS市場2010年強(qiáng)勁增長，營業(yè)收入同比增長18.3%。但據(jù)IHS iSuppli公司的最新研究，這只是MEMS和傳感器市場新一輪兩位數(shù)增長周期的開始，其增長趨勢將持續(xù)到2014年。2011年，MEMS產(chǎn)業(yè)的主要增長動力將是消費(fèi)電子和手

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    2011-04-28
    CMOS DM BSP MEMS

  • 面向MEMS微硅傳感器制成的SENSA工藝

    蘇州敏芯微電子成功研發(fā)面向 MEMS 微硅傳感器制成的 SENSA 工藝。蘇州敏芯微電子目前已經(jīng)將此工藝應(yīng)用于公司生產(chǎn)的微硅壓力傳感芯片 MSP 系列產(chǎn)品中。此項(xiàng)關(guān)鍵核心技術(shù)的突破，將為國內(nèi)以至全球的微硅壓力傳感器行業(yè)

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    2011-04-28
    傳感器 SE NSA MEMS

  • 惠我良多 三星和蘋果成MEMS采購一哥

    在消費(fèi)電子和行動裝置領(lǐng)域，微機(jī)電MEMS產(chǎn)品正以令人瞠目結(jié)舌的速度不斷成長。到底誰是最大的買家？誰是 MEMS元件和產(chǎn)業(yè)“惠我良多”的一哥？答案已經(jīng)揭曉。根據(jù)市調(diào)機(jī)構(gòu)iSuppli最新的統(tǒng)計(jì)資料指出，三星電子正是采購

  • 攀爬MEMS尖峰，多傳感器和MCU功能融合是發(fā)展未來

    根據(jù)市調(diào)機(jī)構(gòu)IHS iSuppli最新調(diào)查顯示，2012年到2014年MEMS器件都將維持兩位數(shù)的增長。面對迅速增加的使用數(shù)量和日益復(fù)雜的功能設(shè)定，系統(tǒng)集成商如何“融合”來自不同傳感器的信號，同時進(jìn)一步降低產(chǎn)品功耗？ 日前

  • Global Foundries進(jìn)軍MEMS市場

    MEMS市場2010年強(qiáng)勁增長，營業(yè)收入同比增長18.3%。但據(jù)IHS iSuppli公司的最新研究，這只是MEMS和傳感器市場新一輪兩位數(shù)增長周期的開始，其增長趨勢將持續(xù)到2014年。2011年，MEMS產(chǎn)業(yè)的主要增長動力將是消費(fèi)電子

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    2011-04-25
    DM BSP GLOBAL MEMS

  • MEMS是否會走CMOS的演進(jìn)路線

    MEMS市場2010年強(qiáng)勁增長，營業(yè)收入同比增長18.3%。但據(jù)IHS iSuppli公司的最新研究，這只是MEMS和傳感器市場新一輪兩位數(shù)增長周期的開始，其增長趨勢將持續(xù)到2014年。2011年，MEMS產(chǎn)業(yè)的主要增長動力將是消費(fèi)電子和手

  • 2010年MEMS供應(yīng)商 TOP 30 排名[附詳細(xì)排名]

    盡管目前微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）仍然充滿著許多供應(yīng)不同類別產(chǎn)品的供貨商，但長久看來，它很有可能成為由少數(shù)大型供貨商主導(dǎo)的市場。市場研究公司Yole指出，由于致力微縮芯片，2010年前四大 MEMS 制造商──德州儀器（TI

  • 欣銓科技

    李洵穎 欣銓科技2010年?duì)I收年成長56.5%，正式跨入新臺幣50億元大關(guān)。該公司2001~2010年的復(fù)合成長率為32%，優(yōu)于臺灣測試業(yè)過去10年平均復(fù)合成長率20.2%，也比晶圓代工產(chǎn)業(yè)的12.1%為高。 欣銓第1季營收季減7.8%，屬

  • 半導(dǎo)體所MEMS器件低成本圓片級低溫鍵合方法研究獲進(jìn)展

    基于Au-Sn二元系中富Sn區(qū)域的圓片級局域加熱鍵合及其中間層相組成 封裝是微納機(jī)電系統(tǒng)（MEMS/NEMS）產(chǎn)業(yè)化前最后的但決定器件成敗的最關(guān)鍵的一步加工技術(shù)，最近幾年已經(jīng)引起了越來越多的關(guān)注。當(dāng)前國際上MEMS/NEM

  • 鑫創(chuàng)CMOS MEMS麥克風(fēng)下半年量產(chǎn)

    國科會19日舉辦晶片系統(tǒng)成果發(fā)表會，NAND Flash控制晶片廠鑫創(chuàng)(3259)總經(jīng)理胡定中親自說明公司以CMOS MEMS麥克風(fēng)設(shè)計(jì)及制程專利成果，并宣布已經(jīng)完成產(chǎn)品開發(fā)，并計(jì)劃于今年下半年量產(chǎn)，預(yù)估到今年底，該產(chǎn)品將有機(jī)會

  • GlobalFoundries進(jìn)軍MEMS市場

    MEMS市場2010年強(qiáng)勁增長，營業(yè)收入同比增長18.3%。但據(jù)IHS iSuppli公司的最新研究，這只是MEMS和傳感器市場新一輪兩位數(shù)增長周期的開始，其增長趨勢將持續(xù)到2014年。2011年，MEMS產(chǎn)業(yè)的主要增長動力將是消費(fèi)電子和手

  • VTI：在動靜間悠然于心的MEMS

    自從Wii與Kinect引發(fā)娛樂電子產(chǎn)品的風(fēng)潮后，人們開始體會到微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)的應(yīng)用所帶來的樂 趣。有鑒于此，以MEMS技術(shù)為職志的芬蘭VTI科技公司（VTI Technologies Oy，簡稱VTI）日前特別邀請了亞太記者團(tuán)前

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    2011-04-19
    元件 電子 MEMS

  • 益登科技取得RF MEMS元件供應(yīng)商WiSpry代理權(quán)

    電子零組件代理商益登科技(EDOM Technology)宣布與可調(diào)諧射頻(RF)半導(dǎo)體領(lǐng)導(dǎo)廠商 WiSpry 簽署代理協(xié)議。益登科技將在臺灣、大中華及東南亞地區(qū)推廣 WiSpry 高效能 RF前端系統(tǒng)單晶片(SoC)解決方案，主要目標(biāo)客戶涵蓋手

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    2011-04-19
    元件 RF ISP MEMS

  • 基于MEMS組合模塊的姿態(tài)檢測系統(tǒng)設(shè)計(jì)

    摘要：在研究兩輪自平衡電動車的平衡控制的基礎(chǔ)上，設(shè)計(jì)了基于MEMS組合模塊的姿態(tài)測量系統(tǒng)。通過對各MEMS傳感器輸出信號特征的提取、分析，將離散化低通濾波器模型與互補(bǔ)濾波的思想相結(jié)合，巧妙地構(gòu)造出一種便于本系

  • MEMS市場集中化　前四大業(yè)者將居主導(dǎo)地位

    盡管目前微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)仍然充滿著許多供應(yīng)不同類別產(chǎn)品的供應(yīng)商，但長久看來，它很有可能成為由少數(shù)大型供應(yīng)商主導(dǎo)的市場。 市場研究公司Yole指出，由于致力微縮晶片，2010年前四大 MEMS 制造商──德州儀器(T

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    2011-04-15
    汽車 AN BSP MEMS

  • 整合技術(shù)發(fā)達(dá)　MEMS性能邁大步

    過去這幾年，微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)感測器逐漸滲透到消費(fèi)性電子市場，被許多新應(yīng)用采用。消費(fèi)性電子市場在尋找微型、低成本、低壓及低功耗的產(chǎn)品。因此，輕薄小巧且多功能整合的多軸感測器已成為消費(fèi)性電子裝置的必備元件

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    2011-04-14
    GPS 感測器 BSP MEMS