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MEMS

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微機電系統(tǒng)（MEMS， Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機電系統(tǒng)其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級，是一個獨立的智能系統(tǒng)。微機電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)（半導體制造技術(shù)）基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。微機電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一項革命性的新技術(shù)，廣泛應用于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，是一項關(guān)系到國家的科技發(fā)展、經(jīng)濟繁榮和國防安全的關(guān)鍵技術(shù)。MEMS側(cè)重于超精密機械加工，涉及微電子、材料、力學、化學、機械學諸多學科領(lǐng)域。它的學科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學、機械學的各分支。常

  • 意法半導體上市“小型低功耗”MEMS麥克風

    “小型低功耗”MEMS麥克風（點擊放大） 意法合資公司意法半導體（STMicroelectronics）上市了兩款以小型低功耗為特點的微機電系統(tǒng)（MEMS）麥克風（英文發(fā)布資料）。一款是封裝在外形尺寸為3mm×4mm×1mm的4端子RH

  • 研究人員發(fā)明微機械加工壓電MEMS提升振動能量采集效率

    密歇根大學(University of Michigan)的工程師稱發(fā)明了一種針對壓電MEMS的微機械加工技術(shù)，可使傳統(tǒng)能源收集器收集的能量增加10倍以上。這個研究小組表示，一個硬幣大小的壓電MEMS就可以收集足夠驅(qū)動植入人體內(nèi)的醫(yī)療

  • ST推出全新MEMS麥克風 提升手機和便攜電腦用戶的音頻體驗

    橫跨多重電子應用領(lǐng)域、全球領(lǐng)先的半導體制造商及全球第一大消費電子和便攜式應用MEMS（微機電系統(tǒng)）元器件供應商意法半導體[1]（STMicroelectronics，簡稱ST；紐約證券交易所代碼：STM）推出兩款全新數(shù)字MEMS麥克風

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    2011-04-29
    電腦 音頻 MEMS

  • ST推出新款數(shù)字MEMS麥克風MP34DB01和MP45DT02

    　全球半導體領(lǐng)導者，為各種電子應用領(lǐng)域的MEMS和領(lǐng)先供應商的消費和便攜式應用(微機電系統(tǒng))的客戶，ST今天推出兩款新的數(shù)字MEMS麥克風。結(jié)合耐用性和可靠性出眾的聲音在降低成本的大小和質(zhì)量，ST的MP34DB01和MP45DT

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    2011-04-28
    MP3 ST MEMS 麥克風

  • MEMS是否真的會走上CMOS的演進路線

    MEMS市場2010年強勁增長，營業(yè)收入同比增長18.3%。但據(jù)IHS iSuppli公司的最新研究，這只是MEMS和傳感器市場新一輪兩位數(shù)增長周期的開始，其增長趨勢將持續(xù)到2014年。2011年，MEMS產(chǎn)業(yè)的主要增長動力將是消費電子和手

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    2011-04-28
    CMOS DM BSP MEMS

  • 面向MEMS微硅傳感器制成的SENSA工藝

    蘇州敏芯微電子成功研發(fā)面向 MEMS 微硅傳感器制成的 SENSA 工藝。蘇州敏芯微電子目前已經(jīng)將此工藝應用于公司生產(chǎn)的微硅壓力傳感芯片 MSP 系列產(chǎn)品中。此項關(guān)鍵核心技術(shù)的突破，將為國內(nèi)以至全球的微硅壓力傳感器行業(yè)

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    2011-04-28
    傳感器 SE NSA MEMS

  • 惠我良多 三星和蘋果成MEMS采購一哥

    在消費電子和行動裝置領(lǐng)域，微機電MEMS產(chǎn)品正以令人瞠目結(jié)舌的速度不斷成長。到底誰是最大的買家？誰是 MEMS元件和產(chǎn)業(yè)“惠我良多”的一哥？答案已經(jīng)揭曉。根據(jù)市調(diào)機構(gòu)iSuppli最新的統(tǒng)計資料指出，三星電子正是采購

  • 攀爬MEMS尖峰，多傳感器和MCU功能融合是發(fā)展未來

    根據(jù)市調(diào)機構(gòu)IHS iSuppli最新調(diào)查顯示，2012年到2014年MEMS器件都將維持兩位數(shù)的增長。面對迅速增加的使用數(shù)量和日益復雜的功能設定，系統(tǒng)集成商如何“融合”來自不同傳感器的信號，同時進一步降低產(chǎn)品功耗？ 日前

  • Global Foundries進軍MEMS市場

    MEMS市場2010年強勁增長，營業(yè)收入同比增長18.3%。但據(jù)IHS iSuppli公司的最新研究，這只是MEMS和傳感器市場新一輪兩位數(shù)增長周期的開始，其增長趨勢將持續(xù)到2014年。2011年，MEMS產(chǎn)業(yè)的主要增長動力將是消費電子

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    2011-04-25
    DM BSP GLOBAL MEMS

  • MEMS是否會走CMOS的演進路線

    MEMS市場2010年強勁增長，營業(yè)收入同比增長18.3%。但據(jù)IHS iSuppli公司的最新研究，這只是MEMS和傳感器市場新一輪兩位數(shù)增長周期的開始，其增長趨勢將持續(xù)到2014年。2011年，MEMS產(chǎn)業(yè)的主要增長動力將是消費電子和手

  • 2010年MEMS供應商 TOP 30 排名[附詳細排名]

    盡管目前微機電系統(tǒng)（MEMS）仍然充滿著許多供應不同類別產(chǎn)品的供貨商，但長久看來，它很有可能成為由少數(shù)大型供貨商主導的市場。市場研究公司Yole指出，由于致力微縮芯片，2010年前四大 MEMS 制造商──德州儀器（TI

  • 欣銓科技

    李洵穎 欣銓科技2010年營收年成長56.5%，正式跨入新臺幣50億元大關(guān)。該公司2001~2010年的復合成長率為32%，優(yōu)于臺灣測試業(yè)過去10年平均復合成長率20.2%，也比晶圓代工產(chǎn)業(yè)的12.1%為高。 欣銓第1季營收季減7.8%，屬

  • 半導體所MEMS器件低成本圓片級低溫鍵合方法研究獲進展

    基于Au-Sn二元系中富Sn區(qū)域的圓片級局域加熱鍵合及其中間層相組成 封裝是微納機電系統(tǒng)（MEMS/NEMS）產(chǎn)業(yè)化前最后的但決定器件成敗的最關(guān)鍵的一步加工技術(shù)，最近幾年已經(jīng)引起了越來越多的關(guān)注。當前國際上MEMS/NEM

  • 鑫創(chuàng)CMOS MEMS麥克風下半年量產(chǎn)

    國科會19日舉辦晶片系統(tǒng)成果發(fā)表會，NAND Flash控制晶片廠鑫創(chuàng)(3259)總經(jīng)理胡定中親自說明公司以CMOS MEMS麥克風設計及制程專利成果，并宣布已經(jīng)完成產(chǎn)品開發(fā)，并計劃于今年下半年量產(chǎn)，預估到今年底，該產(chǎn)品將有機會

  • GlobalFoundries進軍MEMS市場

    MEMS市場2010年強勁增長，營業(yè)收入同比增長18.3%。但據(jù)IHS iSuppli公司的最新研究，這只是MEMS和傳感器市場新一輪兩位數(shù)增長周期的開始，其增長趨勢將持續(xù)到2014年。2011年，MEMS產(chǎn)業(yè)的主要增長動力將是消費電子和手

  • VTI：在動靜間悠然于心的MEMS

    自從Wii與Kinect引發(fā)娛樂電子產(chǎn)品的風潮后，人們開始體會到微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)的應用所帶來的樂 趣。有鑒于此，以MEMS技術(shù)為職志的芬蘭VTI科技公司（VTI Technologies Oy，簡稱VTI）日前特別邀請了亞太記者團前

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    2011-04-19
    元件 電子 MEMS

  • 益登科技取得RF MEMS元件供應商WiSpry代理權(quán)

    電子零組件代理商益登科技(EDOM Technology)宣布與可調(diào)諧射頻(RF)半導體領(lǐng)導廠商 WiSpry 簽署代理協(xié)議。益登科技將在臺灣、大中華及東南亞地區(qū)推廣 WiSpry 高效能 RF前端系統(tǒng)單晶片(SoC)解決方案，主要目標客戶涵蓋手

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    2011-04-19
    元件 RF ISP MEMS

  • 基于MEMS組合模塊的姿態(tài)檢測系統(tǒng)設計

    摘要：在研究兩輪自平衡電動車的平衡控制的基礎上，設計了基于MEMS組合模塊的姿態(tài)測量系統(tǒng)。通過對各MEMS傳感器輸出信號特征的提取、分析，將離散化低通濾波器模型與互補濾波的思想相結(jié)合，巧妙地構(gòu)造出一種便于本系

  • MEMS市場集中化　前四大業(yè)者將居主導地位

    盡管目前微機電系統(tǒng)(MEMS)仍然充滿著許多供應不同類別產(chǎn)品的供應商，但長久看來，它很有可能成為由少數(shù)大型供應商主導的市場。 市場研究公司Yole指出，由于致力微縮晶片，2010年前四大 MEMS 制造商──德州儀器(T

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    2011-04-15
    汽車 AN BSP MEMS

  • 整合技術(shù)發(fā)達　MEMS性能邁大步

    過去這幾年，微機電系統(tǒng)(MEMS)感測器逐漸滲透到消費性電子市場，被許多新應用采用。消費性電子市場在尋找微型、低成本、低壓及低功耗的產(chǎn)品。因此，輕薄小巧且多功能整合的多軸感測器已成為消費性電子裝置的必備元件

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    2011-04-14
    GPS 感測器 BSP MEMS